| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·引言 | 第8-9页 |
| ·精密驱动技术主要应用领域 | 第9-13页 |
| ·MEMS 和超精加工 | 第9-10页 |
| ·应用领域 | 第10-13页 |
| ·压电式精密驱动器的特点及分类 | 第13-17页 |
| ·常见精密驱动器类型 | 第13-15页 |
| ·压电型精密驱动器的实现方式 | 第15-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 压电驱动原理 | 第19-33页 |
| ·压电材料的基本特性 | 第19-27页 |
| ·压电效应和逆压电效应 | 第19-22页 |
| ·压电材料的相关参数 | 第22-26页 |
| ·压电方程 | 第26页 |
| ·常用压电陶瓷驱动器 | 第26-27页 |
| ·压电叠堆 | 第27-31页 |
| ·压电叠堆的组成及特点 | 第28-29页 |
| ·特性和技术 | 第29-30页 |
| ·使用方法及注意事项 | 第30页 |
| ·驱动方法及注意事项 | 第30-31页 |
| ·压电驱动技术 | 第31-33页 |
| ·压电驱动研究内容 | 第31-32页 |
| ·压电驱动的特点 | 第32-33页 |
| 第三章 步进驱动器运动原理及结构设计 | 第33-51页 |
| ·步进式运动原理及机构建模 | 第33-38页 |
| ·步进式运动原理 | 第33-34页 |
| ·驱动机构简化模型的建立 | 第34-36页 |
| ·机械部分的传递特性 | 第36-37页 |
| ·压电叠堆等效质量计算 | 第37-38页 |
| ·柔性铰链的设计 | 第38-44页 |
| ·概述 | 第38-39页 |
| ·一般柔性铰链沿Z 轴方向的转动刚度计算公式的推导 | 第39-44页 |
| ·驱动器机械系统设计 | 第44-51页 |
| ·两叠堆机构 | 第44-47页 |
| ·三叠堆放大机构 | 第47-51页 |
| 第四章 步进式驱动器控制系统 | 第51-61页 |
| ·电源框图 | 第51-52页 |
| ·电源各部分说明 | 第52-60页 |
| ·数字电路部分 | 第52-53页 |
| ·稳压电路部分 | 第53-54页 |
| ·电压和功率放大电路 | 第54-57页 |
| ·串行通信部分 | 第57-60页 |
| ·电源整体性能 | 第60-61页 |
| 第五章 实验部分 | 第61-72页 |
| ·两叠堆驱动机构 | 第61-62页 |
| ·两叠堆驱动机构性能测试 | 第62-64页 |
| ·驱动机构静态特性测试 | 第62-63页 |
| ·驱动机构对激励的响应 | 第63-64页 |
| ·测试机构的箝位性能 | 第64页 |
| ·三叠堆放大机构的测试 | 第64-72页 |
| ·实验系统 | 第64-66页 |
| ·步长测试 | 第66-69页 |
| ·速度测试 | 第69-70页 |
| ·机构的整体运动过程测试 | 第70-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| ·论文总结 | 第72-73页 |
| ·研究展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 摘要 | 第79-81页 |
| ABSTRACT | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 导师及作者简介 | 第84页 |