| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·课题背景 | 第9-11页 |
| ·本论文的主要工作 | 第11页 |
| ·论文纲要 | 第11页 |
| ·本章小结 | 第11-12页 |
| 第二章 硅风速传感器的工作原理和结构分析 | 第12-26页 |
| ·边界层理论 | 第12-14页 |
| ·热风速传感器性能指标 | 第14-15页 |
| ·风速传感器的工作原理 | 第15-19页 |
| ·风向的测试原理 | 第19-21页 |
| ·风速传感器的封装 | 第21-23页 |
| ·实验室现有传感器的结构和性能总结 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章: CMOS 兼容的风速传感器的设计和分析 | 第26-36页 |
| ·一维热温差风速传感器的结构优化 | 第26-30页 |
| ·二维热温差风速传感器的模拟优化 | 第30-33页 |
| ·二维硅热风速传感器的结构设计 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第四章: CMOS 风速传感器的工艺与版图设计 | 第36-43页 |
| ·CMOS 风速传感器的工艺设计 | 第36-37页 |
| ·CMOS 风速传感器的版图设计 | 第37-40页 |
| ·风速传感器的后道工艺 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第五章 CMOS 风速传感器的封装 | 第43-50页 |
| ·风速传感器的封装 | 第43-44页 |
| ·风速传感器封装的理论模型及模拟 | 第44-45页 |
| ·CMOS 风速传感器的倒装焊封装：Flip-Chip | 第45-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章: CMOS 风速传感器的性能测试 | 第50-60页 |
| ·风速传感器的控制与测试电路 | 第50-51页 |
| ·CMOS 风速传感器的测试 | 第51-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第七章: 自封装二维风速传感器的模拟和分析 | 第60-65页 |
| ·二维自封装风速传感器的结构 | 第60-61页 |
| ·工作原理 | 第61-62页 |
| ·自封装风速传感器的ANSYS 模拟 | 第62-63页 |
| ·芯片加工工艺 | 第63-64页 |
| ·芯片的封装和组装 | 第64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第八章 结束语 | 第65-68页 |
| ·总结 | 第65-66页 |
| ·存在的问题以及改进意见 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 附录 | 第72-76页 |
| 作者简介 | 第76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文及专利 | 第76页 |