第一章 引言 | 第1-22页 |
·激光惯性约束聚变系统 | 第8-12页 |
·ICF原理及驱动方式 | 第9-10页 |
·ICF“快点火”方案 | 第10-11页 |
·ICF研究现状 | 第11-12页 |
·衍射光学 | 第12-15页 |
·衍射光学的发展概数 | 第12-14页 |
·衍射光学元件的优点 | 第14-15页 |
·衍射光学在ICF驱动系统中的应用 | 第15-17页 |
·ICF系统对DOE的要求 | 第15-16页 |
·ICF系统中DOE的应用现状 | 第16-17页 |
·本论文的主要内容 | 第17-19页 |
参考文献 | 第19-22页 |
第二章 标量衍射理论及光传输快速模拟计算 | 第22-39页 |
·标量衍射理论 | 第23-26页 |
·光传输模拟计算 | 第26-37页 |
·快速算法的理论分析 | 第26-28页 |
·根据衍射距离划分菲涅耳衍射区 | 第28-30页 |
·快速傅立叶变换数值计算的改进 | 第30-31页 |
·光传输快速数值计算的程序实现 | 第31-37页 |
·小结 | 第37页 |
参考文献 | 第37-39页 |
第三章 衍射光学元件的设计及制作工艺 | 第39-56页 |
·衍射光学元件的设计方法 | 第39-43页 |
·GS(Gerchberg-Saxton)算法 | 第39-41页 |
·杨-顾(YG)算法 | 第41页 |
·模拟退火(SA:Simulated Annealing)算法 | 第41-42页 |
·遗传算法(Genetic Algorithm) | 第42页 |
·追迹法(Genetic Algorithm) | 第42-43页 |
·衍射光学元件的制作工艺 | 第43-47页 |
·多台阶衍射光学元件的制作 | 第43-44页 |
·连续浮雕结构衍射光学元件的制作 | 第44-47页 |
·石英基片的湿法刻蚀工艺研究 | 第47-52页 |
·影响蚀刻速率的主要因素 | 第47-50页 |
·影响蚀刻边缘陡度的因素及其改善措施 | 第50-52页 |
·小结 | 第52页 |
参考文献 | 第52-56页 |
第四章 谐波分离光栅 | 第56-88页 |
·谐波分离技术分析 | 第56-60页 |
·ICF驱动器终端光学系统 | 第56-57页 |
·ICF驱动系统对谐波分离的要求 | 第57-58页 |
·现有的谐波分离技术 | 第58-60页 |
·色分离光栅理论分析 | 第60-78页 |
·CSG原理及性能 | 第60-65页 |
·CSG制作误差理论分析 | 第65-73页 |
·CSG对波前畸变的宽容度 | 第73-78页 |
·加工制作及实验 | 第78-85页 |
·制作大面积CSG的技术路线 | 第79-81页 |
·大面积CSG的制作 | 第81-82页 |
·CSG谐波分离实验 | 第82-85页 |
·小结 | 第85页 |
参考文献 | 第85-88页 |
第五章 光束取样光栅 | 第88-109页 |
·终端光学系统光束取样技术分析 | 第88-90页 |
·ICF系统中的光束取样技术 | 第88-89页 |
·应用于终端光学系统的光束取样技术 | 第89-90页 |
·光束取样光栅理论分析 | 第90-94页 |
·BSG取样原理分析 | 第90-91页 |
·BSG结构参数分析 | 第91-94页 |
·设计制作及实验 | 第94-101页 |
·电子束直写掩模曝光法 | 第94-97页 |
·光学全息曝光法 | 第97-101页 |
·谐波分离、光束取样集成元件 | 第101-106页 |
·多次曝光制作BSG/CSG集成元件 | 第101-102页 |
·灰阶编码掩模制作BSG/CSG集成元件 | 第102-106页 |
·小结 | 第106-107页 |
参考文献 | 第107-109页 |
第六章 静态位相校正板 | 第109-122页 |
·多层放大系统 | 第109-110页 |
·静态位相校正板 | 第110-119页 |
·静态波前畸变分析 | 第111-113页 |
·位相校正板的设计及模拟分析 | 第113-119页 |
·小结 | 第119页 |
参考文献 | 第119-122页 |
第七章 总结 | 第122-124页 |
声明 | 第124-125页 |
致谢 | 第125-126页 |
附录1 | 第126-128页 |
附录2 | 第128-129页 |
附录3 | 第129页 |