| 中文摘要 | 第1-7页 |
| 英文摘要 | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| 1．1 低温等离子体 | 第11-12页 |
| 1．2 低温等离子体中物种诊断的方法 | 第12-14页 |
| 1．3 分子束质谱及相关的应用 | 第14-17页 |
| 1．4 本论文的依据和内容 | 第17-20页 |
| 参考文献 | 第20-25页 |
| 第二章 三级差分抽气分子束质谱的设计及运行参数 | 第25-46页 |
| 2．1 分子束的特性 | 第25-27页 |
| 2．2 仪器总体结构及各部件的设计尺寸 | 第27-31页 |
| 2．3 差分抽气系统的真空设计及系统配置 | 第31-34页 |
| 2．4 实际测量各区真空度的结果 | 第34-38页 |
| 2．5 分子束的调制 | 第38-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第三章 具有阈值电离能力的四极质谱离化器的研制 | 第46-60页 |
| 3．1 四极质谱的基本原理 | 第46-49页 |
| 3．2 具有阈值电离能力的离化器的研制 | 第49-59页 |
| 参考文献 | 第59-60页 |
| 第四章 氢、氮放电体系中离子流的分析 | 第60-76页 |
| 4．1 氢异常辉光放电阴极鞘层中正离子的检测 | 第60-66页 |
| 4．2 高压脉冲电晕放电引发的纯氮等离子体的诊断研究 | 第66-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 第五章 氮等离子体中的正离子组分及能量分布的诊断研究 | 第76-85页 |
| 5．1 减速栅法测量能量分布 | 第76-78页 |
| 5．2 氮异常辉光放电中离子成份及能量的诊断 | 第78-84页 |
| 参考文献 | 第84-85页 |
| 第六章 氮等离子体中粒子浓度的模拟计算 | 第85-92页 |
| 6．1 短间隙氮异常辉光放电中正柱区的电子平均温度的确定 | 第85-88页 |
| 6．2 氮异常辉光放电中正柱区粒子浓度的模拟计算 | 第88-91页 |
| 参考文献 | 第91-92页 |
| 第七章 结论与展望 | 第92-95页 |
| 附录： 作者博士其间发表的论文 | 第95-96页 |
| 论文的创新点摘要 | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
