| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-11页 |
| ·超精密加工技术发展状况 | 第7-8页 |
| ·研磨加工的现状 | 第8页 |
| ·研磨技术的新发展 | 第8-9页 |
| ·论文研究的主要研究内容 | 第9-11页 |
| 2 行星式双平面研磨运动的运动学分析 | 第11-29页 |
| ·引言 | 第11页 |
| ·研磨运动轨迹要求及PRESTON方程 | 第11-12页 |
| ·研磨运动轨迹要求 | 第11-12页 |
| ·Preston方程 | 第12页 |
| ·运动轨迹分析 | 第12-18页 |
| ·齐次坐标变换法 | 第12-15页 |
| ·双平面研磨加工原理 | 第15页 |
| ·行星式双平面研磨运动轨迹模型建立 | 第15-18页 |
| ·运动轨迹仿真及分析 | 第18-27页 |
| ·运动轨迹仿真 | 第18-27页 |
| ·仿真结果分析 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-29页 |
| 3 研磨机床支承件设计 | 第29-39页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·支承件设计的一般要求和设计步骤 | 第29-30页 |
| ·支承件设计准则 | 第29页 |
| ·支承件设计的一般要求 | 第29-30页 |
| ·设计步骤 | 第30页 |
| ·研磨机床床身,立柱,横梁的设计及机床横梁有限元分析 | 第30-37页 |
| ·床身,立柱,横梁的设计 | 第30-31页 |
| ·机床横梁有限元分析 | 第31-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 4 研磨机床数控系统 | 第39-59页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·NUMPOWER1000系列数控系统的特点及研磨机床数控系统选型 | 第39-41页 |
| ·NumPower1000系列数控系统的主要技术特点。 | 第39-41页 |
| ·数控系统选型与功能配置 | 第41页 |
| ·常用参数设置及自动回零程序编写 | 第41-44页 |
| ·常用参数设置 | 第41-43页 |
| ·自动回零程序编写 | 第43-44页 |
| ·研磨机床PLC编写 | 第44-54页 |
| ·NUM数控系统PLC | 第44-47页 |
| ·研磨机床PLC程序编写 | 第47-54页 |
| ·力控制 | 第54-58页 |
| ·研磨对压力的要求 | 第54-55页 |
| ·扭矩模式下的研磨压力控制 | 第55-57页 |
| ·基于力传感器的研磨压力控制 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 5 机床调试及精度检验 | 第59-67页 |
| ·引言 | 第59页 |
| ·机床调试及功能检验 | 第59-60页 |
| ·机床调试 | 第59页 |
| ·机床功能检验 | 第59-60页 |
| ·机床精度检验 | 第60-62页 |
| ·定位误差补偿原理 | 第62-63页 |
| ·补偿后机床精度检验 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| ·全文总结 | 第67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-75页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第75页 |
