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GaN基高电子迁移率场应管的可靠性研究

摘要第1-6页
Abstract第6-10页
第一章 绪论第10-26页
 §1.1 Ⅲ族氮化物半导材料第10-11页
 §1.2 GaN基本性质及其在微波大功率应用中的优势第11-13页
 §1.3 AlGaN/GaN异质结二维电子气第13-15页
 §1.4 AlGaN/GaN HEMT的发展以及面临的可靠性问题第15-20页
 §1.5 本文的结构以及主要研究动机第20-22页
 参考文献第22-26页
第二章 AlGaN/GaN高电子迁移率场效应管中Kink效应分析第26-36页
 §2.1 研究背景第26页
 §2.2 器件制备第26-28页
 §2.3 实验结果与分析第28-32页
 §2.4 本章小结第32-34页
 参考文献第34-36页
第三章 高场引起的AlGaN/GaN高电子迁移率场效应管中电子去俘获过程分析第36-46页
 §3.1 研究背景第36页
 §3.2 器件制备第36-37页
 §3.3 实验结果与分析第37-42页
 §3.4 本章小结第42-43页
 参考文献第43-46页
第四章 关态下AlGaN/GaN高电子迁移率场效应管击穿和电流传输机理分析第46-56页
 §4.1 研究背景第46-47页
 §4.2 器件制备第47页
 §4.3 实验结果与分析第47-51页
 §4.4 结果讨论第51-53页
 §4.5 本章小结第53-54页
 参考文献第54-56页
第五章 AlGaN/GaN绝缘栅结构高电子迁移率场效应管的探索研究第56-62页
 §5.1 研究背景第56-57页
 §5.2 器件制备第57-58页
 §5.3 实验结果与分析第58-60页
 §5.4 本章小结第60-61页
 参考文献第61-62页
第六章 论文结论与展望第62-64页
 §6.1 论文结论第62页
 §6.2 论文展望第62-64页
发表论文目录第64-66页
致谢第66-67页

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