微流路芯片加工工艺研究
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·研究现状和发展趋势 | 第8-13页 |
| ·微流路芯片的基质材料 | 第8-9页 |
| ·微流路芯片的微加工技术 | 第9-12页 |
| ·微流路芯片的发展趋势 | 第12-13页 |
| ·研究内容及意义 | 第13-15页 |
| 第2章 微流路芯片的工作原理及检测技术 | 第15-32页 |
| ·微流路芯片的特点 | 第15-16页 |
| ·微流路芯片的基本工作原理 | 第16-20页 |
| ·微流路芯片制作工艺原理 | 第20-29页 |
| ·光刻掩膜 | 第21-22页 |
| ·薄膜沉积 | 第22-24页 |
| ·光刻技术 | 第24-25页 |
| ·刻蚀技术 | 第25-29页 |
| ·微流路芯片的检测方法 | 第29-32页 |
| 第3章 微流路芯片的制作 | 第32-47页 |
| ·微流路芯片的设计及工艺条件的确定 | 第32-33页 |
| ·微流路芯片制作材料的确定 | 第33-34页 |
| ·版图的设计及掩膜板的制作 | 第34-35页 |
| ·光刻工艺参数的确定 | 第35-40页 |
| ·刻蚀工艺参数的确定 | 第40-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 微流路芯片的工艺仿真 | 第47-56页 |
| ·芯片制作工艺的仿真 | 第47-51页 |
| ·芯片的功能仿真 | 第51-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 微流路芯片钻孔工艺的研究 | 第56-65页 |
| ·激光打孔原理 | 第56-58页 |
| ·激光打孔的方法和设备 | 第58-59页 |
| ·激光打孔实验 | 第59-62页 |
| ·机械钻孔实验 | 第62-63页 |
| ·激光打孔与机械钻孔的结果比较 | 第63-65页 |
| 第6章 总结与展望 | 第65-67页 |
| ·全文总结 | 第65页 |
| ·展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71页 |
