| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| ·微机电系统发展概况 | 第8-9页 |
| ·微机电系统光学测试技术发展概况 | 第9-12页 |
| ·国外微机电系统动态测试技术发展概况 | 第12-15页 |
| ·国内微机电系统动态测试技术发展概况 | 第15-16页 |
| ·本课题研究的主要目的和内容 | 第16-18页 |
| 第二章 基于块匹配技术的面内运动测试技术 | 第18-30页 |
| ·块匹配技术 | 第18-25页 |
| ·最优化干涉相消技术 | 第25-29页 |
| 小结 | 第29-30页 |
| 第三章 基于相移显微干涉技术的离面运动测试技术 | 第30-49页 |
| ·相移显微干涉技术 | 第30-44页 |
| ·离面运动补偿技术 | 第44-46页 |
| ·相位－高度转换和基准面调平 | 第46-47页 |
| 小结 | 第47-49页 |
| 第四章 基于面内补偿的MEMS 离面运动测试系统 | 第49-61页 |
| ·基于相移显微干涉和面内补偿的MEMS 离面运动测试原理 | 第49-51页 |
| ·MEMS 离面运动测试系统 | 第51-59页 |
| 小结 | 第59-61页 |
| 第五章 实验及分析 | 第61-74页 |
| ·面内运动测试 | 第61-63页 |
| ·离面运动测试 | 第63-72页 |
| ·实验结果分析 | 第72-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-81页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |