| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·引言 | 第7-10页 |
| ·GaAs MMIC的特点及主要应用领域 | 第10-11页 |
| ·GaAs MMIC的特点 | 第10-11页 |
| ·GaAs MMIC的应用 | 第11页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器简介 | 第11-13页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器国内外产品情况 | 第13-15页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器国外产品情况 | 第13-14页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器国内研究情况 | 第14-15页 |
| 第二章 GaAs MMIC功率放大器设计 | 第15-39页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器的工作原理和设计流程 | 第15-17页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器工作原理 | 第15-16页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器的研制流程 | 第16-17页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器系统设计 | 第17-19页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器设计指标 | 第17页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器设计考虑 | 第17-19页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器有源器件设计 | 第19-30页 |
| ·GaAs功率场效应晶体管的工作原理和电参数 | 第19-23页 |
| ·GaAs功率场效应晶体管的可靠性及安全工作区 | 第23-24页 |
| ·晶体管的稳定性分析 | 第24-27页 |
| ·有源器件设计 | 第27-28页 |
| ·有源器件大信号EEHEMT1 模型提取 | 第28-30页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器无源元件设计 | 第30-32页 |
| ·MIM电容器 | 第31页 |
| ·电阻器 | 第31-32页 |
| ·背面通孔 | 第32页 |
| ·GaAs MMIC功率放大器匹配电路和电源设计 | 第32-37页 |
| ·匹配电路 | 第32-36页 |
| ·微波功率放大器的直流供电电路 | 第36-37页 |
| ·小结 | 第37-39页 |
| 第三章 MMIC功率放大器CAD | 第39-51页 |
| ·MMIC CAD设计流程 | 第39-40页 |
| ·MMIC功率放大器的CAD优化设计 | 第40-46页 |
| ·有源器件直流仿真 | 第40-41页 |
| ·元件初值选择 | 第41-42页 |
| ·电路优化 | 第42-46页 |
| ·MMIC功率放大器的电磁场仿真 | 第46-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第四章 MMIC功率放大器的制造 | 第51-57页 |
| ·GaAs MMIC基本工艺流程 | 第51-52页 |
| ·GaAs功率MMIC关键工艺 | 第52-56页 |
| ·欧姆接触 | 第52-53页 |
| ·肖特基势垒金属的形成 | 第53-55页 |
| ·钝化 | 第55页 |
| ·空气桥互连 | 第55-56页 |
| ·背面减薄和通孔接地 | 第56页 |
| ·薄膜电阻 | 第56页 |
| ·工艺过程控制 | 第56页 |
| ·小结 | 第56-57页 |
| 第五章 MMIC功率放大器测试 | 第57-63页 |
| ·微波在片测试 | 第57-59页 |
| ·样品装配测试 | 第59-61页 |
| ·小结 | 第61-63页 |
| 结束语 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 研究成果 | 第69-70页 |