| 摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-26页 |
| 1.1 引言 | 第14-15页 |
| 1.2 椭偏测量系统发展现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 椭偏测量系统研究概况 | 第15-18页 |
| 1.2.2 穆勒矩阵椭偏测量系统发展现状 | 第18-22页 |
| 1.3 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏测量系统高级参数研究现状 | 第22-23页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第23-26页 |
| 第2章 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏测量系统高级参数建模 | 第26-44页 |
| 2.1 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏侧量系统基本原理 | 第26-30页 |
| 2.2 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏测量系统高级参数模型 | 第30-38页 |
| 2.2.1 各光学元件高级参数建模 | 第31-34页 |
| 2.2.2 光源和光谱仪的偏振相关修正 | 第34-36页 |
| 2.2.3 系统退偏修正 | 第36-38页 |
| 2.3 基于系统高级参数模型的基本参数优化配置 | 第38-42页 |
| 2.3.1 条件数法进行基本参数优化配置的原理 | 第38-39页 |
| 2.3.2 基本参数优化配置仿真 | 第39-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 基于系统高级参数模型的误差传递分析 | 第44-84页 |
| 3.1 误差来源和分类 | 第44-45页 |
| 3.2 误差传递分析 | 第45-61页 |
| 3.2.1 系统参数误差传递分析 | 第45-60页 |
| 3.2.2 系统随机误差传递分析 | 第60-61页 |
| 3.3 误差传递仿真实验 | 第61-83页 |
| 3.4 本章小结 | 第83-84页 |
| 第4章 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏测量系统偏振相关系数测量 | 第84-92页 |
| 4.1 偏振相关系数测量概述 | 第84页 |
| 4.2 偏振相关系数测量方法设计 | 第84-88页 |
| 4.3 实验结果 | 第88-90页 |
| 4.4 本章小结 | 第90-92页 |
| 第5章 双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏测量系统高级参数标定 | 第92-118页 |
| 5.1 系统高级参数标定流程及主要问题 | 第92-94页 |
| 5.1.1 标定流程 | 第92-93页 |
| 5.1.2 系统参数标定的主要问题 | 第93-94页 |
| 5.2 透镜高级参数标定方法 | 第94-104页 |
| 5.2.1 透镜高级参数模型理论分析 | 第94-96页 |
| 5.2.2 各向异性晶体基底标定透镜高级参数 | 第96-100页 |
| 5.2.3 透镜高级参数标定仿真实验 | 第100-104页 |
| 5.3 系统高级参数标定实验 | 第104-117页 |
| 5.3.1 RCE直通和薄膜样品标定结果 | 第104-108页 |
| 5.3.2 未加聚焦透镜的DRC-MME直通和薄膜样品标定结果 | 第108-112页 |
| 5.3.3 加入聚焦透镜的DRC-MME直通和薄膜样品标定结果 | 第112-116页 |
| 5.3.4 方解石基底标定聚焦透镜等效参数结果 | 第116-117页 |
| 5.4 本章小结 | 第117-118页 |
| 第6章 总结与展望 | 第118-122页 |
| 6.1 本文主要研究内容 | 第118-119页 |
| 6.2 本文主要创新点 | 第119页 |
| 6.3 研究展望 | 第119-122页 |
| 参考文献 | 第122-130页 |
| 致谢 | 第130-132页 |
| 作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果 | 第132页 |
