硅光子芯片的光耦合及测试关键技术研究
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 硅光子技术的发展现状 | 第8-13页 |
| 1.2 硅光子芯片耦合技术的最新进展 | 第13-15页 |
| 1.3 本课题的必要性及本文章节安排 | 第15-17页 |
| 第2章 SOI光波导理论及耦合结构设计 | 第17-29页 |
| 2.1 光波导模式理论 | 第17-19页 |
| 2.2 BPM和FDTD算法 | 第19-22页 |
| 2.2.1 BPM(束传播法) | 第19-20页 |
| 2.2.2 FDTD(时域有限差分法) | 第20-22页 |
| 2.3 光波导耦合结构设计 | 第22-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 耦合结构实验测试 | 第29-41页 |
| 3.1 耦合封装测试实验 | 第29-33页 |
| 3.1.1 耦合测试系统 | 第29-33页 |
| 3.2 耦合测试实验结果 | 第33-37页 |
| 3.3 耦合实验结果及可靠性分析 | 第37-40页 |
| 3.3.1 耦合结果分析 | 第37-39页 |
| 3.3.2 可靠性分析 | 第39-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 MZI型硅光调制器理论 | 第41-49页 |
| 4.1 等离子色散效应理论 | 第41-43页 |
| 4.2 MZI型硅光调制器 | 第43-48页 |
| 4.2.1 MZI型调制器的光学结构特性 | 第43-46页 |
| 4.2.2 MZI型调制器的电学结构特性 | 第46-48页 |
| 4.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 MZI型硅波导调制器封装测试 | 第49-59页 |
| 5.1 MZI型PDM-QPSK硅波导调制器方案 | 第49-50页 |
| 5.2 IQ调制器的偏置电压的测试 | 第50-53页 |
| 5.3 硅波导调制器的眼图分析 | 第53-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第6章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第63页 |
