数控特种气体动态发生装置的方法研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题的研究背景 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外研究现状与发展趋势 | 第9-10页 |
| 1.4 课题研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.5 课题相关技术研究现状 | 第11-15页 |
| 1.5.1 负压技术 | 第11-12页 |
| 1.5.2 DCS技术 | 第12-14页 |
| 1.5.3 现场总线技术 | 第14-15页 |
| 1.6 课题研究的主要内容 | 第15-17页 |
| 2 系统总体设计 | 第17-35页 |
| 2.1 系统的工作原理与工作流程 | 第17-19页 |
| 2.1.1 工作原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 工作流程 | 第18-19页 |
| 2.2 系统的主要功能和技术指标 | 第19-20页 |
| 2.2.1 主要功能 | 第19-20页 |
| 2.2.2 技术指标 | 第20页 |
| 2.3 系统主要机械部件设计与分析 | 第20-27页 |
| 2.3.1 几种试剂发生器的分析 | 第20-22页 |
| 2.3.2 发生池加热冷却装置的设计 | 第22-24页 |
| 2.3.3 混气室的设计 | 第24-27页 |
| 2.4 试剂无泄漏注入装置设计 | 第27-35页 |
| 2.4.1 试剂无泄漏注入装置总体设计分析 | 第27-30页 |
| 2.4.2 试剂无泄漏注入装置的部分结构设计 | 第30-34页 |
| 2.4.3 试剂无泄漏注入装置的洗消 | 第34-35页 |
| 3 试剂发生器配气方法的研究 | 第35-49页 |
| 3.1 气体浓度配制方法 | 第35-37页 |
| 3.1.1 静态配气法 | 第35-36页 |
| 3.1.2 动态配气法 | 第36-37页 |
| 3.2 雾化机理分析 | 第37-39页 |
| 3.2.1 雾化机理学说 | 第37-38页 |
| 3.2.2 雾化过程及方法 | 第38-39页 |
| 3.3 流体力学基本理论知识 | 第39-41页 |
| 3.3.1 几个基本概念 | 第39页 |
| 3.3.2 流体动力学基本控制方程 | 第39-41页 |
| 3.4 喷嘴参数影响分析 | 第41-42页 |
| 3.5 雾化式发生器新型动态配气方法 | 第42-49页 |
| 3.5.1 雾化法的系统构成 | 第43-45页 |
| 3.5.2 实验数据及对比分析 | 第45-49页 |
| 4 控制系统设计 | 第49-68页 |
| 4.1 系统控制方案的选择与确定 | 第49-51页 |
| 4.1.1 控制方案的几种主要形式 | 第49-50页 |
| 4.1.2 系统控制方案的最终确定 | 第50-51页 |
| 4.2 部分重要控制器件的选择与设计 | 第51-62页 |
| 4.2.1 温度控制系统硬件设计 | 第51-54页 |
| 4.2.2 气体流量控制系统 | 第54-56页 |
| 4.2.3 试剂浓度监测仪 | 第56-57页 |
| 4.2.4 抽气隔膜泵 | 第57-58页 |
| 4.2.5 压力变送器 | 第58-60页 |
| 4.2.6 PowerViewHM | 第60-62页 |
| 4.3 控制系统分析与设计 | 第62-68页 |
| 4.3.1 PLC编程软件 | 第62-63页 |
| 4.3.2 控制结构与流程图 | 第63-68页 |
| 5 全文总结与展望 | 第68-69页 |
| 5.1 全文总结 | 第68页 |
| 5.2 存在的问题与展望 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
