| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 引言 | 第8-15页 |
| 1.1 背景介绍 | 第8-10页 |
| 1.2 加速度计的国内外现状 | 第10-14页 |
| 1.3 本文研究内容 | 第14-15页 |
| 2 加速度计的工作原理 | 第15-24页 |
| 2.1 弹簧—振子结构基本物理模型 | 第15-17页 |
| 2.2 电容-位移检测原理 | 第17-23页 |
| 2.3 小结 | 第23-24页 |
| 3 探头机械结构设计 | 第24-44页 |
| 3.1 低温材料的选择 | 第24-26页 |
| 3.2 簧片加速度计探头结构的仿真设计 | 第26-31页 |
| 3.3 参数优化 | 第31-36页 |
| 3.4 双簧片开槽口的仿真设计 | 第36-41页 |
| 3.5 有限元静力分析 | 第41-43页 |
| 3.6 小结 | 第43-44页 |
| 4 加工误差分析 | 第44-59页 |
| 4.1 簧片偏移误差 | 第44-50页 |
| 4.2 簧片偏角误差 | 第50-54页 |
| 4.3 组合误差 | 第54-56页 |
| 4.4 机械热噪声的影响 | 第56-58页 |
| 4.5 小结 | 第58-59页 |
| 5 总结与展望 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |