| 致谢 | 第3-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 变量注释表 | 第16-17页 |
| 1 绪论 | 第17-28页 |
| 1.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.2 研究背景和意义 | 第17-20页 |
| 1.3 研究现状 | 第20-27页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第27-28页 |
| 2 微摩擦磨损测试系统改进和微器件的设计加工 | 第28-47页 |
| 2.1 微摩擦磨损测试装置改进 | 第28-34页 |
| 2.2 滑动摩擦副及旋转摩擦盘设计 | 第34-36页 |
| 2.3 微器件纹理表面设计 | 第36-39页 |
| 2.4 微器件纹理表面刻蚀 | 第39-46页 |
| 2.5 本章小结 | 第46-47页 |
| 3 硅基微器件的微摩擦磨损性能测试试验 | 第47-64页 |
| 3.1 微摩擦磨损测试试验方案 | 第47-50页 |
| 3.2 混合自组装膜(SAMs)制备 | 第50-54页 |
| 3.3 微摩擦磨损性能测试试验步骤 | 第54-56页 |
| 3.4 微摩擦磨损性能测试试验结果分析 | 第56-63页 |
| 3.5 本章小结 | 第63-64页 |
| 4 混合自组装膜的分子动力学模拟和表征分析 | 第64-83页 |
| 4.1 WD-10-APS的分子动力学模拟 | 第64-78页 |
| 4.2 WD-10-APS混合自组装膜的AFM表征 | 第78-82页 |
| 4.3 本章小结 | 第82-83页 |
| 5 硅基微器件纹理表面的流体润滑仿真和表征分析 | 第83-97页 |
| 5.1 不同纹理表面微器件的流体润滑分析 | 第83-91页 |
| 5.2 不同纹理表面硅基微器件混合润滑阶段磨损情况表征分析 | 第91-95页 |
| 5.3 本章小结 | 第95-97页 |
| 6 总结和展望 | 第97-99页 |
| 6.1 主要结论 | 第97-98页 |
| 6.2 展望 | 第98-99页 |
| 参考文献 | 第99-105页 |
| 作者简介 | 第105-107页 |
| 学位论文数据集 | 第107页 |