| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第9-11页 |
| 1.3 浸液温度对光刻的影响 | 第11-13页 |
| 1.4 组织结构与主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 双通道浸液温控系统整体方案设计 | 第15-24页 |
| 2.1 双通道浸液温度控制系统需求与技术难点分析 | 第15-17页 |
| 2.2 双通道浸液温控系统设计目标与方案设计 | 第17-20页 |
| 2.3 关键元器件的选型与介绍 | 第20-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24页 |
| 3 自抗扰控制器的分析与实现 | 第24-41页 |
| 3.1 自抗扰控制器的基本原理 | 第24-31页 |
| 3.2 ADRC控制器参数整定 | 第31-36页 |
| 3.3 ADRC算法的Simulink建模 | 第36-38页 |
| 3.4 自抗扰算法的关键参数仿真分析 | 第38-40页 |
| 3.5 本章总结 | 第40-41页 |
| 4 双通道浸液温控系统的控制结构建模与仿真 | 第41-61页 |
| 4.1 双通道注液温度控制结构 | 第41-46页 |
| 4.2 浸液精调温控系统建模 | 第46-54页 |
| 4.3 浸液精调温控系统串级自抗扰仿真分析 | 第54-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-61页 |
| 5 ADRC算法在浸液温控系统中的应用 | 第61-79页 |
| 5.1 双通道浸液温度控制系统与算法模拟实验平台软件设计 | 第61-66页 |
| 5.2 串级浸液温控系统ADRC控制器的设计与实现 | 第66-72页 |
| 5.3 浸液精调系统的自抗扰算法实验验证 | 第72-78页 |
| 5.4 本章小结 | 第78-79页 |
| 6 全文总结与展望 | 第79-81页 |
| 6.1 全文总结 | 第79页 |
| 6.2 研究展望 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-85页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第85页 |