| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 专用术语注释表 | 第8-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-14页 |
| 1.1.1 薄膜电导型传感器 | 第10-11页 |
| 1.1.2 场效应管 | 第11-12页 |
| 1.1.3 肖特基势垒 | 第12-13页 |
| 1.1.4 多孔硅传感器 | 第13-14页 |
| 1.2 微热板的研究概述 | 第14-15页 |
| 1.2.1 微热板的分类 | 第15页 |
| 1.3 微结构气体传感器的国内外发展状况 | 第15-18页 |
| 1.4 论文研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第二章 微热板及有限元软件介绍 | 第20-27页 |
| 2.1 微热板的工作流程 | 第20-21页 |
| 2.2 微热板理论模型 | 第21-22页 |
| 2.3 有限元软件 | 第22-25页 |
| 2.3.1 ANSYS热分析理论 | 第23-24页 |
| 2.3.2 ANSYS稳态热分析GUI分析过程 | 第24-25页 |
| 2.3.3 ANSYS的热应力GUI分析过程 | 第25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 微热板的设计与仿真 | 第27-43页 |
| 3.1 微热板的隔热材料 | 第27-29页 |
| 3.1.1 硅氧化物 | 第28页 |
| 3.1.2 聚合物 | 第28页 |
| 3.1.3 气凝胶 | 第28-29页 |
| 3.2 多孔硅作为隔热材料 | 第29-30页 |
| 3.3 微热板的结构设计 | 第30-32页 |
| 3.3.1 衬底材料设计 | 第30-31页 |
| 3.3.2 绝热层的设计 | 第31页 |
| 3.3.3 电极的设计 | 第31-32页 |
| 3.4 微热板的模拟仿真 | 第32-42页 |
| 3.4.1 衬底间距的影响 | 第33-34页 |
| 3.4.2 绝热层的仿真 | 第34-36页 |
| 3.4.3 电极的仿真 | 第36-40页 |
| 3.4.4 微热板的热应力分析 | 第40-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 硅纳米孔柱阵列的制备及其有机蒸汽气敏特性研究 | 第43-50页 |
| 4.1 Si-NPA的制备技术简要介绍及特征形貌分析 | 第43-44页 |
| 4.2 有机蒸汽传感器工作原理 | 第44-45页 |
| 4.3 基于Si-NPA的有机蒸汽气敏传感特性研究 | 第45-48页 |
| 4.3.1 Si-NPA传感器在乙醇和丙酮气体的电学性能 | 第45-46页 |
| 4.3.2 Si-NPA传感器的传感器响应与气体浓度关系 | 第46-48页 |
| 4.4 Si-NPA传感器的传感器响应恢复时间 | 第48-49页 |
| 4.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-53页 |
| 5.1 总结 | 第50-51页 |
| 5.2 工作展望 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第57-58页 |
| 附录2 攻读硕士学位期间申请的专利 | 第58-59页 |
| 附录3 攻读硕士学位期间参加的科研项目 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
