双频容性耦合等离子体空间非均匀性诊断研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-19页 |
| ·等离子体简介 | 第8-9页 |
| ·等离子体技术的应用 | 第9-12页 |
| ·等离子体技术的应用领域 | 第9-10页 |
| ·低温等离子体在半导体工业中的应用 | 第10-12页 |
| ·半导体工业中常见的低温等离子体源 | 第12-15页 |
| ·双频容性耦合等离子体 | 第15-16页 |
| ·频CCP的研究现状 | 第16-18页 |
| ·双频CCP的研究方法 | 第16-17页 |
| ·双频CCP的实验研究进展及面临的困难 | 第17-18页 |
| ·本文的主要内容及安排 | 第18-19页 |
| 第二章 等离子体的探针诊断 | 第19-30页 |
| ·等离子体诊断的意义及面临的问题 | 第19-20页 |
| ·静电探针简介 | 第20-22页 |
| ·探针的发展历史及类型 | 第20页 |
| ·探针的使用条件 | 第20-21页 |
| ·探针技术的特点和发展方向 | 第21-22页 |
| ·朗缪尔单探针的工作原理 | 第22-27页 |
| ·探针的电荷收集 | 第23-24页 |
| ·朗缪尔单探针伏安特性曲线 | 第24-25页 |
| ·由单探针Ⅰ-Ⅴ特性曲线获取等离子体参数的步骤 | 第25-27页 |
| ·朗缪尔双探针的工作原理 | 第27-28页 |
| ·双频容性耦合等离子体的探针诊断 | 第28-30页 |
| 第三章 实验装置及诊断系统 | 第30-39页 |
| ·真空系统及CCP放电装置 | 第30-32页 |
| ·探针诊断系统及其技术特点 | 第32-39页 |
| ·探针诊断系统 | 第32-34页 |
| ·基于虚拟仪器的探针诊断方法及技术特点 | 第34-36页 |
| ·双探针数据采集及分析软件 | 第36-37页 |
| ·双探针制作中的技术难点 | 第37-39页 |
| 第四章 诊断实验与结果 | 第39-49页 |
| ·等离子体中心区域特性研究 | 第39-41页 |
| ·等离子体径向分布特性研究 | 第41-45页 |
| ·等离子体轴向分布特性研究 | 第45-49页 |
| 结论 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-56页 |
