| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1. 引言 | 第11-19页 |
| 1.1 应用于LED中的ITO薄膜的简介 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外对ITO透明导电薄膜的研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.1 国外研究现状 | 第13页 |
| 1.2.2 国内研究现状 | 第13-14页 |
| 1.3 ITO透明导电薄膜的应用 | 第14-17页 |
| 1.3.1 ITO薄膜在显示器方面的应用 | 第14-15页 |
| 1.3.2 ITO薄膜在太阳能电池领域中的应用 | 第15-16页 |
| 1.3.3 ITO薄膜在热辐射反射镜中的应用 | 第16-17页 |
| 1.3.4 ITO薄膜在微波屏蔽和辐射防护中的应用 | 第17页 |
| 1.3.5 ITO薄膜在交通工具的挡风玻璃中的应用 | 第17页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 1.5 本章小结 | 第18-19页 |
| 2 ITO薄膜的理论基础及制备方法介绍 | 第19-36页 |
| 2.1 ITO透明导电薄膜的理论基础 | 第19-27页 |
| 2.1.1 ITO透明导电薄膜的微观结构 | 第19-20页 |
| 2.1.2 ITO透明导电薄膜的能带 | 第20-22页 |
| 2.1.3 ITO透明导电薄膜的电学性能 | 第22-24页 |
| 2.1.4 ITO透明导电薄膜的光学性能 | 第24-27页 |
| 2.2 ITO透明导电薄膜的制备方法 | 第27-35页 |
| 2.2.1 化学制备方法 | 第27-29页 |
| 2.2.2 物理制备方法 | 第29-35页 |
| 2.3 本章小结 | 第35-36页 |
| 3 磁控溅射法制备ITO薄膜 | 第36-39页 |
| 3.1 实验装置及原理 | 第36-37页 |
| 3.1.1 实验装置 | 第36-37页 |
| 3.1.2 制备原理 | 第37页 |
| 3.2 实验方法 | 第37-38页 |
| 3.3 工艺操作流程 | 第38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 4 ITO薄膜的性能测试与实验结果讨论 | 第39-51页 |
| 4.1 ITO薄膜的性能测试 | 第39-42页 |
| 4.1.1 ITO薄膜方阻的测试 | 第39-41页 |
| 4.1.2 ITO薄膜透光率的测试 | 第41-42页 |
| 4.1.3 ITO薄膜厚度的测试 | 第42页 |
| 4.2 实验结果讨论 | 第42-50页 |
| 4.2.1 O_2流量对ITO薄膜性能的影响 | 第42-44页 |
| 4.2.2 溅射功率对ITO薄膜性能的影响 | 第44-46页 |
| 4.2.3 溅射气压对ITO薄膜性能的影响 | 第46-48页 |
| 4.2.4 沉积温度对ITO薄膜方阻的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-51页 |
| 5 结论与展望 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 作者简历 | 第55-57页 |
| 学位论文数据集 | 第57页 |