| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 场效应晶体管(FET) | 第9-13页 |
| 1.1.1 FET 的概述 | 第9-11页 |
| 1.1.2 FET 的工作原理及电学性能参数 | 第11-13页 |
| 1.2 铁电场效应晶体管(Ferroelectric-gate FET，FeFET) | 第13-15页 |
| 1.2.1 FeFET 的发展历程 | 第13-14页 |
| 1.2.2 FeFET 的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 纳米沟道铁电场效应晶体管 | 第15-16页 |
| 1.3.1 ZnO 纳米沟道铁电场效应晶体管的优势 | 第15-16页 |
| 1.3.2 纳米沟道铁电场效应晶体管的研究现状 | 第16页 |
| 1.4 本论文的选题依据和主要内容 | 第16-19页 |
| 1.4.1 本论文的选题依据 | 第16-17页 |
| 1.4.2 本论文的主要内容 | 第17-19页 |
| 第2章 BNT 铁电薄膜的制备和表征 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 BNT 铁电薄膜的制备 | 第19-23页 |
| 2.2.1 溶胶凝胶法的基本原理 | 第19-20页 |
| 2.2.2 制备 BNT 薄膜所需设备及原材料 | 第20-21页 |
| 2.2.3 溶胶凝胶法制备 BNT 薄膜 | 第21-23页 |
| 2.3 BNT 铁电薄膜的表征 | 第23-28页 |
| 2.3.1 BNT 薄膜的膜厚测试 | 第23-25页 |
| 2.3.2 BNT 薄膜的电学测试 | 第25-27页 |
| 2.3.3 BNT 薄膜的形貌及 XRD 表征 | 第27-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 ZnO 纳米纤维的制备与表征 | 第29-38页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 ZnO 纳米纤维的制备 | 第29-33页 |
| 3.2.1 静电纺丝法纺丝的基本原理 | 第29-30页 |
| 3.2.2 静电纺丝法制备 ZnO 纤维所需原材料及设备 | 第30页 |
| 3.2.3 静电纺丝法制备 ZnO 纤维 | 第30-33页 |
| 3.3 ZnO 纳米纤维的表征 | 第33-37页 |
| 3.3.1 ZnO 纳米纤维的形貌表征 | 第33-36页 |
| 3.3.2 ZnO 纳米纤维的热失重表征 | 第36页 |
| 3.3.3 ZnO 纳米纤维的 XRD 表征 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 第4章 ZnO 纳米沟道晶体管的制备与性能研究 | 第38-46页 |
| 4.1 引言 | 第38页 |
| 4.2 ZnO 纳米沟道铁电栅 FET 的制备 | 第38-40页 |
| 4.2.1 普通纳米沟道铁电栅 FET 的制备 | 第38-39页 |
| 4.2.2 多通道纳米沟道铁电栅 FET 的制备 | 第39-40页 |
| 4.3 ZnO 纳米沟道铁电栅 FET 的性能表征 | 第40-45页 |
| 4.3.1 纳米沟道铁电栅 FET 的沟道形貌表征 | 第40-41页 |
| 4.3.2 纳米沟道铁电栅 FET 的输出特性 | 第41-43页 |
| 4.3.3 纳米沟道铁电栅 FET 的转移特性 | 第43-44页 |
| 4.3.4 纳米沟道铁电栅 FET 的漏电流特性 | 第44-45页 |
| 4.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第5章 总结与展望 | 第46-48页 |
| 5.1 论文总结 | 第46页 |
| 5.2 工作展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 攻读学位期间发表论文目录 | 第54页 |
