离散半球体电阻式气体传感器的研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-12页
第1章 绪论	第12-18页
·课题研究背景	第12-13页
·国内外发展、现状及发展趋势	第13-16页
·气体传感器的国外发展及现状	第13-14页
·气体传感器的国内现状	第14-15页
·气体传感器发展趋势	第15-16页
·课题研究内容与论文结构	第16-18页
·研究内容	第16页
·论文结构安排	第16-18页
第2章 气体传感器	第18-34页
·传感器基础知识	第18-21页
·传感器的分类	第19-20页
·传感器特性	第20页
·传感器的标定	第20-21页
·气体传感器的分类与原理	第21-28页
·非半导体气体传感器	第21-23页
·半导体气体传感器	第23-28页
·半导体气体传感器特性	第28-31页
·线性度	第29页
·灵敏度	第29-30页
·选择性	第30-31页
·响应时间	第31页
·改善气体传感器性能的措施	第31-33页
·选择适当的工作温度	第31页
·气敏材料加入添加剂	第31-32页
·开发新型基体材料	第32-33页
·优化敏感基体表面结构	第33页
·本章小结	第33-34页
第3章 离散半球体气敏结构设计	第34-43页
·薄膜电阻式半导体气体传感器的敏感机理	第34-36页
·新型气体传感器的结构设计	第36-38页
·气敏结构的制备技术	第38-42页
·MEMS技术简介	第38-39页
·体微加工	第39-41页
·表面微加工	第41-42页
·高深宽比微加工技术	第42页
·本章小结	第42-43页
第4章 离散半球体气敏结构性能分析	第43-53页
·气体传感器敏感结构响应分析	第43-47页
·传统连续平面敏感结构	第45页
·表面离散半球体阵列敏感结构	第45-47页
·响应时间仿真	第47-49页
·离散半球体阵列敏感结构的优化	第49-52页
·敏感结构厚度对响应时间的影响	第49-50页
·半球体半径对响应时间的影响	第50-52页
·本章小结	第52-53页
结论与展望	第53-54页
致谢	第54-55页
参考文献	第55-59页
攻读硕士学位期间发表的论文	第59-60页