| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题的研究背景、现状及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 课题的研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 国内外现状 | 第10-11页 |
| 1.2 论文的研究内容及结构安排 | 第11-14页 |
| 第2章 柔性PIN二极管的制作和射频特性测试 | 第14-28页 |
| 2.1 柔性PIN二极管的制备工艺 | 第14-17页 |
| 2.2 弯曲应变下PIN二极管的射频性能测试 | 第17-23页 |
| 2.2.1 散射参数 | 第17-19页 |
| 2.2.2 柔性微波PIN二极管的测试 | 第19-22页 |
| 2.2.3 测试数据波动解释 | 第22-23页 |
| 2.3 等效电路建模与数据分析 | 第23-26页 |
| 2.3.1 等效电路 | 第23页 |
| 2.3.2 等效电路模型的建立与数据分析 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 柔性PIN二极管的有限元建模 | 第28-37页 |
| 3.1 有限元分析方法 | 第28-29页 |
| 3.1.1 有限元法的发展 | 第28页 |
| 3.1.2 有限元分析原理 | 第28-29页 |
| 3.2 ABAQUS有限元分析软件 | 第29-30页 |
| 3.3 有限元模型的建立流程 | 第30-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第4章 柔性PIN二极管在弯曲态下的有限元结果及分析 | 第37-50页 |
| 4.1 范米塞斯应力 | 第37-38页 |
| 4.2 PIN拉伸应力的有限元分析 | 第38-46页 |
| 4.2.1 PIN不同弯曲半径下的应力分布 | 第40-42页 |
| 4.2.2 去除金属层的有限元简化模型 | 第42-46页 |
| 4.3 开关（Switch）器件的有限元模型与分析结果 | 第46-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第5章 柔性硅纳米薄膜数学模型的建立和验证 | 第50-57页 |
| 5.1 胡克定律 | 第50-51页 |
| 5.1.1 连续弹性介质的胡克定律 | 第50-51页 |
| 5.1.2 胡克弹性定律 | 第51页 |
| 5.2 数学模型的建立 | 第51-55页 |
| 5.2.1 柔性器件的弯曲形态模拟 | 第51-52页 |
| 5.2.2 数学估算模型 | 第52-55页 |
| 5.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 第6章 总结和展望 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |