| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-31页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.2 光纤Bragg锈蚀监测现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 裸光栅型 | 第12-13页 |
| 1.2.2 物理封装光栅型 | 第13-14页 |
| 1.2.3 敏感膜光栅型 | 第14-15页 |
| 1.2.4 光栅微加工型 | 第15页 |
| 1.3 光纤Bragg光栅简介 | 第15-20页 |
| 1.3.1 光纤光栅的制作 | 第16-17页 |
| 1.3.2 光栅光谱特性 | 第17-18页 |
| 1.3.3 光栅信号检测 | 第18-20页 |
| 1.4 光纤表面微加工技术 | 第20-23页 |
| 1.4.1 化学刻蚀 | 第20-21页 |
| 1.4.2 物理研磨 | 第21页 |
| 1.4.3 激光烧蚀 | 第21-23页 |
| 1.5 薄膜制备技术 | 第23-28页 |
| 1.5.1 电化学镀膜 | 第23-24页 |
| 1.5.2 真空蒸发镀膜 | 第24-26页 |
| 1.5.3 真空离子镀膜 | 第26-27页 |
| 1.5.4 真空溅射镀膜 | 第27-28页 |
| 1.6 本文研究内容 | 第28-30页 |
| 1.7 本章小结 | 第30-31页 |
| 第2章 Fe(C) 膜Bragg光栅锈蚀传感研究系统 | 第31-51页 |
| 2.1 引言 | 第31-32页 |
| 2.2 Bragg光栅传感模型 | 第32-36页 |
| 2.2.1 温度传感模型 | 第32-33页 |
| 2.2.2 应力传感模型 | 第33-34页 |
| 2.2.3 折射率传感模型 | 第34-36页 |
| 2.3 光栅表面加工 | 第36-41页 |
| 2.3.1 HF酸刻蚀 | 第36-38页 |
| 2.3.2 端面抛磨 | 第38-40页 |
| 2.3.3 侧边抛磨 | 第40-41页 |
| 2.4 敏感膜制备 | 第41-46页 |
| 2.4.1 电镀法成膜 | 第41-43页 |
| 2.4.2 磁控溅射法成膜 | 第43-46页 |
| 2.5 锈蚀监测 | 第46-48页 |
| 2.5.1 锈蚀环境设计 | 第46页 |
| 2.5.2 敏感膜锈蚀形貌分析 | 第46-47页 |
| 2.5.3 光纤光栅信号检测 | 第47-48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-51页 |
| 第3章 基于Fe(C) 膜和Bragg光栅的锈蚀传感研究-电镀法 | 第51-83页 |
| 3.1 引言 | 第51-52页 |
| 3.2 基本原理 | 第52-53页 |
| 3.3 电镀Fe(C) 膜及工艺优化 | 第53-65页 |
| 3.3.1 电镀Fe(C) 膜形貌分析 | 第54-58页 |
| 3.3.2 Fe(C) 膜沉积应力监测 | 第58-60页 |
| 3.3.3 优化电镀Fe(C) 膜及其测试分析 | 第60-65页 |
| 3.4 Fe(C) 膜光栅锈蚀传感特性分析 | 第65-67页 |
| 3.5 其他参数对Fe(C) 膜光栅传感特性的影响 | 第67-74页 |
| 3.5.1 电流密度对传感特性的影响 | 第67-69页 |
| 3.5.2 电镀时间对传感特性的影响 | 第69-70页 |
| 3.5.3 锈蚀环境对传感特性的影响 | 第70-74页 |
| 3.6 Fe(C) 膜光栅与电化学监测的比较 | 第74-78页 |
| 3.7 Fe(C) 膜光栅在模拟混凝土孔隙液中的锈蚀监测 | 第78-80页 |
| 3.8 本章小结 | 第80-83页 |
| 第4章 基于Fe(C) 膜和Bragg光栅的锈蚀传感研究-磁控溅射法 | 第83-99页 |
| 4.1 引言 | 第83-84页 |
| 4.2 基本原理 | 第84页 |
| 4.3 磁控溅射制备Fe(C) 膜 | 第84-87页 |
| 4.3.1 磁控溅射Fe(C) 膜工艺 | 第85页 |
| 4.3.2 Fe(C) 膜的测试分析 | 第85-87页 |
| 4.4 Fe(C) 膜光栅传感特性分析 | 第87-92页 |
| 4.5 其他传感特性研究 | 第92-96页 |
| 4.5.1 耐蚀性 | 第92-93页 |
| 4.5.2 重复性 | 第93-95页 |
| 4.5.3 灵敏度 | 第95-96页 |
| 4.6 本章小结 | 第96-99页 |
| 第5章 基于Fe(C) 膜和刻蚀Bragg光栅的锈蚀传感研究 | 第99-109页 |
| 5.1 引言 | 第99-100页 |
| 5.2 基本原理 | 第100-101页 |
| 5.3 Fe(C) 膜刻蚀Bragg光栅的制备 | 第101-104页 |
| 5.3.1 化学刻蚀Bragg光栅 | 第101-103页 |
| 5.3.2 磁控溅射Fe(C) 膜 | 第103-104页 |
| 5.4 Fe(C) 膜刻蚀Bragg光栅锈蚀传感特性 | 第104-107页 |
| 5.5 Fe(C) 膜侧抛Bragg光栅的研究 | 第107-108页 |
| 5.6 本章小结 | 第108-109页 |
| 第6章 总结与展望 | 第109-111页 |
| 6.1 本文总结 | 第109-110页 |
| 6.2 展望 | 第110-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-120页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第120页 |
