| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 主要符号表 | 第19-20页 |
| 1 绪论 | 第20-35页 |
| 1.1 LEO空间环境简介 | 第20-22页 |
| 1.2 LEO空间环境对航天器的影响 | 第22-25页 |
| 1.2.1 电磁辐射 | 第22-23页 |
| 1.2.2 带电粒子 | 第23页 |
| 1.2.3 空间等离子体 | 第23-24页 |
| 1.2.4 地球重力场 | 第24-25页 |
| 1.2.5 轨道碎片和微流星体 | 第25页 |
| 1.3 空间原子氧探测的研究背景及进展 | 第25-33页 |
| 1.3.1 空间原子氧的研究意义 | 第25-26页 |
| 1.3.2 空间原子氧的测量方法 | 第26-28页 |
| 1.3.3 电阻型原子氧传感器的研究现状 | 第28-33页 |
| 1.4 本文的研究目的及内容 | 第33-35页 |
| 2 金属Os膜制备及原子氧传感器制作相关问题研究 | 第35-50页 |
| 2.1 引言 | 第35-36页 |
| 2.2 金属Os膜的制备与表征 | 第36-44页 |
| 2.2.1 金属Os膜的制备工艺及表征方法 | 第36页 |
| 2.2.2 金属Os膜的结构和形貌 | 第36-40页 |
| 2.2.3 金属Os膜的应力与晶粒尺寸 | 第40-42页 |
| 2.2.4 金属Os膜的力学性能 | 第42-44页 |
| 2.3 Os膜传感器制作及指标检验 | 第44-49页 |
| 2.3.1 传感器的基本构成及技术指标 | 第44页 |
| 2.3.2 金属Os膜传感器的制备工艺 | 第44-45页 |
| 2.3.3 Os膜传感器的图形化工艺 | 第45-46页 |
| 2.3.4 传感器技术指标测试 | 第46-49页 |
| 2.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 3 金属Os膜电阻率分析及传感器应用模型 | 第50-66页 |
| 3.1 引言 | 第50页 |
| 3.2 金属Os膜电阻率的基本规律 | 第50-53页 |
| 3.2.1 金属Os膜制备与电阻率测量 | 第50-51页 |
| 3.2.2 金属Os膜的室温电阻率 | 第51页 |
| 3.2.3 金属Os膜电阻率随温度的变化 | 第51-53页 |
| 3.3 Os膜电阻率的理论分析 | 第53-62页 |
| 3.3.1 金属Os的电子平均自由程 | 第53-54页 |
| 3.3.2 金属电阻率的理论模型及存在的问题 | 第54-55页 |
| 3.3.3 金属Os的电子结构和Fermi面 | 第55-58页 |
| 3.3.4 MS晶界散射模型的改进 | 第58-60页 |
| 3.3.5 金属薄膜电阻率的纵向不均性 | 第60-62页 |
| 3.4 Os膜传感器应用的物理模型 | 第62-65页 |
| 3.4.1 电阻型原子氧传感器的线性腐蚀模型 | 第62-63页 |
| 3.4.2 恒温工作方案及数学模型 | 第63-64页 |
| 3.4.3 测温工作方案及数学模型 | 第64-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-66页 |
| 4 低气压管式放电等离子体相关应用研究 | 第66-87页 |
| 4.1 引言 | 第66-67页 |
| 4.2 低气压管式放电装置及前期工作基础 | 第67-71页 |
| 4.2.1 低气压管式放电装置及等离子体诊断平台 | 第67-68页 |
| 4.2.2 前期工作简介 | 第68-71页 |
| 4.3 纯O_2放电等离子体 | 第71-77页 |
| 4.3.1 O等离子体的基本特征 | 第71-74页 |
| 4.3.2 O等离子体刻蚀实验 | 第74-77页 |
| 4.4 低气压放电在其它空间环境方面应用的探索研究 | 第77-86页 |
| 4.4.1 N_2+H_2混合放电 | 第77-82页 |
| 4.4.2 Ar等离子体的放电特性 | 第82-86页 |
| 4.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 5 管式放电N+H等离子体用于低温氮化 | 第87-103页 |
| 5.0 引言 | 第87页 |
| 5.1 等离子体低温氮化装置及放电特性 | 第87-90页 |
| 5.1.1 管式放电等离子体低温氮化装置 | 第87-88页 |
| 5.1.2 管式放电N+H等离子体的放电特性 | 第88-90页 |
| 5.2 纯铁离子氮化的结构和性能 | 第90-97页 |
| 5.2.1 H_2在纯铁氮化中的作用 | 第90-93页 |
| 5.2.2 温度对纯铁氮化效果的影响 | 第93-97页 |
| 5.3 管式放电等离子体低温渗氮的物理机制 | 第97-102页 |
| 5.3.1 等离子体OES分析 | 第97-99页 |
| 5.3.2 H_2含量对管式放电等离子体的影响 | 第99-101页 |
| 5.3.3 等离子体束流的气体温度 | 第101-102页 |
| 5.4 本章小结 | 第102-103页 |
| 6 结论与展望 | 第103-106页 |
| 6.1 结论 | 第103-104页 |
| 6.2 创新点 | 第104-105页 |
| 6.3 展望 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 攻读博士学位期间科研项目及科研成果 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115-116页 |
| 作者简介 | 第116页 |