| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 太赫兹探测器的研究进展 | 第9-22页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 2 石墨烯太赫兹光电探测器设计与仿真 | 第23-40页 |
| 2.1 引言 | 第23页 |
| 2.2 多孔石墨烯太赫兹探测器基本原理及理论模型 | 第23-29页 |
| 2.3 多孔石墨烯电子结构研究 | 第29-36页 |
| 2.3.1 石墨烯的能带结构 | 第29-31页 |
| 2.3.2 多孔石墨烯电子结构仿真 | 第31-36页 |
| 2.4 多孔石墨烯THZ光电探测器仿真研究 | 第36-39页 |
| 2.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 3 石墨烯纳米结构太赫兹光电探测器加工 | 第40-51页 |
| 3.1 THZ光电探测器工艺方案设计 | 第40页 |
| 3.2 版图设计 | 第40-42页 |
| 3.3 基于电子束曝光技术的多孔石墨烯关键工艺研究 | 第42-43页 |
| 3.3.1 光刻胶选择 | 第42页 |
| 3.3.2 电子束曝光剂量选择 | 第42-43页 |
| 3.4 多孔石墨烯THZ探测器制备工艺流程 | 第43-50页 |
| 3.4.1 大面积石墨烯材料合成及转移 | 第43-44页 |
| 3.4.2 源漏电极制作 | 第44-46页 |
| 3.4.3 多孔石墨烯纳米结构制作 | 第46-47页 |
| 3.4.4 栅绝缘层制作 | 第47-48页 |
| 3.4.5 栅电极制作 | 第48-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 4 石墨烯太赫兹探测器的测试 | 第51-57页 |
| 4.1 探测器电学测试 | 第51-53页 |
| 4.1.1 转移特性 | 第51-52页 |
| 4.1.2 输出特性 | 第52-53页 |
| 4.2 探测器光学性能测试 | 第53-55页 |
| 4.2.1 太赫兹探测器光电流测试 | 第53-54页 |
| 4.2.2 太赫兹探测器成像实验 | 第54-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-57页 |
| 5 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 论文主要工作总结 | 第57页 |
| 5.2 进一步工作与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-67页 |
| 附录 | 第67-68页 |
| A. 作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第67页 |
| B. 作者在攻读硕士学位期间的得奖情况 | 第67-68页 |