| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·背景介绍 | 第8-9页 |
| ·声表面波(SAW)传感器 | 第9-11页 |
| ·SAW传感器的工作机理 | 第9-10页 |
| ·国内外SAW气体传感器技术的发展现状 | 第10-11页 |
| ·SAW传感器的发展趋势 | 第11页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 SAW传感器的基础理论分析 | 第13-27页 |
| ·瑞利波的性质 | 第13-16页 |
| ·各向异性压电基体上的瑞利波 | 第16-18页 |
| ·声表面波的激发和接收 | 第18-21页 |
| ·正压电效应 | 第18-19页 |
| ·逆压电效应 | 第19-20页 |
| ·机电耦合系数 | 第20-21页 |
| ·声表面波叉指换能器 | 第21-26页 |
| ·叉指换能器的基本特性 | 第21-23页 |
| ·叉指换能器的二阶效应 | 第23-25页 |
| ·叉指换能器的常用加权方法 | 第25-26页 |
| ·本章总结 | 第26-27页 |
| 第三章 SAW传感器的设计与器件制作工艺 | 第27-42页 |
| ·SAW传感器的设计 | 第27-34页 |
| ·基底材料石英的选择 | 第27-28页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第28-30页 |
| ·电极材料的选择 | 第30-31页 |
| ·振荡器的选择 | 第31-33页 |
| ·SAW气体传感器的双通道结构 | 第33-34页 |
| ·SAW传感器器件的制作工艺 | 第34-41页 |
| ·清洗 | 第34-35页 |
| ·光刻 | 第35-38页 |
| ·光学光刻 | 第35-36页 |
| ·电子束光刻 | 第36-37页 |
| ·X射线光刻 | 第37-38页 |
| ·刻蚀 | 第38-39页 |
| ·剥离 | 第39-41页 |
| ·本章总结 | 第41-42页 |
| 第四章 声表面波NO_2气体传感器的研究 | 第42-58页 |
| ·SAW气体传感器敏感膜的研究 | 第42-46页 |
| ·敏感膜的种类 | 第43-45页 |
| ·敏感膜的成膜方式 | 第45-46页 |
| ·SAW传感器检测NO_2气体的研究 | 第46-56页 |
| ·聚苯胺/多壁碳纳米管薄膜SAW传感器检测NO_2 | 第46-50页 |
| ·聚苯胺多壁碳纳米管薄膜的制备 | 第46-47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-50页 |
| ·实验结论 | 第50页 |
| ·三氧化钨/多壁碳纳米管薄膜SAW传感器检测NO_2 | 第50-56页 |
| ·三氧化钨-多壁碳纳米管薄膜的制备 | 第50-53页 |
| ·WO_3/MCNT敏感膜厚度对检测的影响 | 第53-54页 |
| ·WO_3MCNT薄膜检测NO_2的分析 | 第54-56页 |
| ·SAW气体传感器的测试系统 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-59页 |
| ·论文工作总结 | 第58页 |
| ·未来研究的展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第65页 |