铜制程中基于规则Lot的派工系统
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 半导体制造中软件的应用 | 第9-11页 |
| 1.2 铜互连工艺简介 | 第11-12页 |
| 1.3 投料法则和派工法则的介绍 | 第12-13页 |
| 1.3.1 投料法则的探讨 | 第12页 |
| 1.3.2 派工法则的探讨 | 第12-13页 |
| 1.4 派工方法介绍和国际派工软件 | 第13-16页 |
| 1.4.1 派工方法介绍 | 第13-14页 |
| 1.4.2 相关软件的介绍 | 第14-16页 |
| 1.5 本文研究目的与主要内容 | 第16-17页 |
| 2 派工系统的设计目标和系统框架 | 第17-21页 |
| 2.1 目标 | 第17-18页 |
| 2.2 系统框架介绍 | 第18-19页 |
| 2.3 系统开发步骤 | 第19-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 3 派工系统功能实现 | 第21-34页 |
| 3.1 系统功能实现 | 第21-22页 |
| 3.2 派工规则系统定义与实现 | 第22-26页 |
| 3.2.1 派工规则系统整体介绍 | 第22-23页 |
| 3.2.2 使用 XML 定义规则的流程 | 第23-24页 |
| 3.2.3 派工系统中应用的规则 | 第24-26页 |
| 3.3 派工规则等级判断的优化方案 | 第26-31页 |
| 3.3.1 Lot：派工规则等级的判断流程 | 第26-27页 |
| 3.3.2 机台：派工规则等级判断的优化方案 | 第27-31页 |
| 3.4 派工监控模块 | 第31-33页 |
| 3.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 派工系统使用查询 | 第34-39页 |
| 4.1 查询界面 | 第34-36页 |
| 4.2 属性查询 | 第36-37页 |
| 4.3 派工规则切换 | 第37-38页 |
| 4.4 本章小结 | 第38-39页 |
| 5 派工系统结果验证 | 第39-42页 |
| 6 总结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-45页 |
| 附录 | 第45-76页 |
| 附录1：STRUTS 的部分代码 | 第45-47页 |
| 附录2：XML 介绍 | 第47-52页 |
| 附录3：规则代码 | 第52-64页 |
| 附录4：部分重点机台的派工规则 | 第64-73页 |
| 附录5：名词解释 | 第73-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第77页 |
