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飞秒激光诱导固体表面微纳米周期性结构的研究

致谢第4-5页
中文摘要第5-6页
ABSTRACT第6-7页
1 引言第11-15页
2 激光诱导周期性表面结构(LIPSS)第15-28页
    2.1 LIPSS简介第15-16页
    2.2 LIPSS成形机理第16-23页
        2.2.1 Sipe模型第18-19页
        2.2.2 表面等离子体激元(SPP)辅助LIPSS成形第19-20页
        2.2.3 有限差分时域(FDTD)方法第20-21页
        2.2.4 非稳定材料的自组织模型第21页
        2.2.5 二次谐波(SHG)辅助LIPSS形成模型第21-23页
    2.3 LIPSS形成过程中材料变化第23页
    2.4 LIPSS在材料表面处理中的应用第23-26页
        2.4.1 亲/疏水性第24页
        2.4.2 摩擦和微流体第24页
        2.4.3 材料的外观颜色第24-25页
        2.4.4 标记和编码第25页
        2.4.5 光捕获与发射第25-26页
        2.4.6 生物和医学应用第26页
    2.5 挑战与机遇第26-27页
    2.6 结论第27-28页
3 激发态材料的动态:光耦合及超快激光刻蚀基本过程第28-40页
    3.1 固体光学性质第28-30页
    3.2 超短脉冲激光与物质相互作用第30-34页
    3.3 金属对超快激光辐射的瞬态响应第34-38页
        3.3.1 电子效应第34-37页
        3.3.2 晶格效应第37页
        3.3.3 表面等离子体激元效应第37-38页
    3.4 超快激光辐射半导体的瞬态光学响应第38-39页
    3.5 结论第39-40页
4 激发态材料的动态:实验第40-55页
    4.1 时间分辨的椭圆偏振光测量系统第40-41页
    4.2 激发态硅的瞬时光学响应第41-47页
        4.2.1 单晶硅的电子和光学性质第41-42页
        4.2.2 测量单晶硅的多脉冲损伤阈值第42-43页
        4.2.3 测量激发态硅的瞬时光学响应第43-47页
    4.3 激发态钨的瞬时光学响应第47-50页
    4.4 激发态BMG的瞬时光学响应第50-53页
    4.5 结论第53-55页
5 LIPSS形成实验第55-69页
    5.1 LIPSS形成实验系统第55-66页
        5.1.1 金属钨的LIPSS形成实验第56-58页
        5.1.2 半导体硅的LIPSS形成实验第58-60页
        5.1.3 单晶合金CMSX-4 的LIPSS形成实验第60-62页
        5.1.4 非晶合金Zr-BMG和晶体合金Zr-CA的LIPSS形成对比实验第62-66页
    5.2 飞秒激光刻蚀Zr-BMG过程中晶体结构的改变第66-67页
    5.3 结论第67-69页
6 LIPSS形成的电磁场起源第69-103页
    6.1 FDTD方法第69-71页
    6.2 FDTD仿真分析Sipe理论第71-78页
        6.2.1 Sipe理论分析锗和铝上LIPSS形成第71-74页
        6.2.2 3D-FDTD仿真分析锗和铝上LIPSS形成第74-76页
        6.2.3 FDTD仿真分析单个纳米半球颗粒引起的电磁场能量分布第76-78页
    6.3 局域表面等离子体激元与表面散射电磁波第78-81页
    6.4 微纳米结构在LIPSS形成中的作用第81-88页
        6.4.1 Zr-BMG上LIPSS形成过程中的微纳米结构第81-82页
        6.4.2 表面纳米结构引起的电磁场能量分布第82-86页
        6.4.3 LSFL形成机理第86-88页
    6.5 一维微纳米结构对LIPSS形成的影响第88-92页
        6.5.1 固定激光偏振方向的脉冲与沟槽的相互作用第88-90页
        6.5.2 变化激光偏振方向的脉冲与沟槽的相互作用第90页
        6.5.3 FDTD仿真分析沟槽对电磁场能量分布的影响第90-92页
    6.6 FDTD仿真分析HSFL形成第92-101页
        6.6.1 CMSX-4 的HSFL(┴E)第92-95页
        6.6.2 Zr-CA的HSFL (║E)第95-101页
    6.7 结论第101-103页
7 结论和展望第103-107页
    7.1 结论第103-104页
    7.2 展望第104-107页
参考文献第107-124页
作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果第124-125页

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