磁控溅射制备Cu-Zr合金薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1 前言 | 第10-11页 |
| 1.2 常用镀膜方法简介 | 第11-12页 |
| 1.3 非晶合金薄膜的应用及研究现状 | 第12-20页 |
| 1.3.1 非晶合金薄膜力学行为研究现状 | 第12-14页 |
| 1.3.2 非晶合金制备方法研究现状 | 第14-17页 |
| 1.3.3 非晶合金薄膜性能研究现状 | 第17-20页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 材料制备与分析测试方法 | 第22-26页 |
| 2.1 Cu-Zr合金薄膜样品的制备 | 第22-23页 |
| 2.2 分析测试方法 | 第23-26页 |
| 2.2.1 X射线衍射分析 | 第23页 |
| 2.2.2 扫描和能谱分析 | 第23页 |
| 2.2.3 原子力显微测试 | 第23-24页 |
| 2.2.4 电化学腐蚀测试 | 第24页 |
| 2.2.5 摩擦磨损测试 | 第24-25页 |
| 2.2.6 接触角测试 | 第25页 |
| 2.2.7 抗菌性测试 | 第25-26页 |
| 第3章 Cu-Zr非晶合金薄膜基本结构表征 | 第26-47页 |
| 3.1 前言 | 第26页 |
| 3.2 Cu-Zr合金薄膜X射线衍射分析 | 第26-32页 |
| 3.3 Cu-Zr薄膜表面SEM图及其分析 | 第32-37页 |
| 3.4 Cu-Zr合金薄膜表面原子力显微及其分析 | 第37-45页 |
| 3.5 本章小结 | 第45-47页 |
| 第4章 Cu-Zr合金薄膜性能研究 | 第47-63页 |
| 4.1 前言 | 第47页 |
| 4.2 Cu-Zr合金薄膜的电化学腐蚀行为 | 第47-50页 |
| 4.3 Cu-Zr合金薄膜的摩擦磨损行为 | 第50-53页 |
| 4.4 Cu-Zr合金薄膜的表面能 | 第53-59页 |
| 4.5 Cu-Zr合金薄膜的抗菌性测试 | 第59-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
