基于显微干涉术的微机电系统动态测试方法与系统的研究
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| 1.1 微机电系统发展概况 | 第9-11页 |
| 1.2 微机电系统的测试需求 | 第11-13页 |
| 1.3 微机电系统的测试技术 | 第13-26页 |
| 1.3.1 静态测试技术 | 第14-17页 |
| 1.3.2 动态测试技术 | 第17-24页 |
| 1.3.3 集成化综合测试系统 | 第24-26页 |
| 1.4 课题的提出与论文进行的工作 | 第26-29页 |
| 第二章 干涉条纹位相自动分析技术 | 第29-76页 |
| 2.1 光学干涉测试技术 | 第29-34页 |
| 2.1.1 传统干涉技术 | 第29-30页 |
| 2.1.2 散斑干涉技术 | 第30页 |
| 2.1.3 全息干涉技术 | 第30-31页 |
| 2.1.4 莫尔条纹技术 | 第31页 |
| 2.1.5 显微干涉技术 | 第31-34页 |
| 2.2 条纹图自动分析方法 | 第34-40页 |
| 2.2.1 干涉条纹图数学形式与特性 | 第35-36页 |
| 2.2.2 干涉条纹图的分析方法 | 第36-40页 |
| 2.3 基于时间相移的位相探测技术 | 第40-44页 |
| 2.3.1 移相实现方法 | 第41-43页 |
| 2.3.2 移相器的选择 | 第43-44页 |
| 2.4 相位提取算法分析 | 第44-54页 |
| 2.4.1 常用的相位提取算法 | 第45-48页 |
| 2.4.2 相位提取算法精度分析 | 第48-53页 |
| 2.4.3 Hariharan算法的对比度分析 | 第53-54页 |
| 2.5 相位展开算法 | 第54-68页 |
| 2.5.1 传统相位展开方法的数学描述 | 第55-58页 |
| 2.5.2 路径跟随算法 | 第58-63页 |
| 2.5.3 路径无关算法 | 第63-68页 |
| 2.5.4 相位展开算法的选择原则 | 第68页 |
| 2.6 条纹图像预处理技术 | 第68-74页 |
| 2.6.1 噪声来源 | 第68-69页 |
| 2.6.2 现有的图像预处理方法 | 第69-70页 |
| 2.6.3 针对条纹图的预处理方法 | 第70-74页 |
| 本章小结 | 第74-76页 |
| 第三章 MEMS动态测试系统的设计 | 第76-110页 |
| 3.1 测试系统的组成 | 第76-88页 |
| 3.1.1 光学成像模块 | 第77-78页 |
| 3.1.2 图像采集模块 | 第78-79页 |
| 3.1.3 显微干涉模块 | 第79-83页 |
| 3.1.4 频闪照明模块 | 第83-85页 |
| 3.1.5 信号发生模块 | 第85页 |
| 3.1.6 高压驱动模块 | 第85-86页 |
| 3.1.7 接口控制模块 | 第86-87页 |
| 3.1.8 测试软件模块 | 第87页 |
| 3.1.9 环境变量控制 | 第87-88页 |
| 3.2 频闪同步控制技术 | 第88-100页 |
| 3.2.1 频闪成像的原理 | 第88-90页 |
| 3.2.2 同步控制的实现方法 | 第90-94页 |
| 3.2.3 延迟测量与补偿 | 第94-100页 |
| 3.3 软件系统设计 | 第100-109页 |
| 3.3.1 软件结构 | 第100-101页 |
| 3.3.2 测试流程 | 第101-102页 |
| 3.3.3 数据处理方法 | 第102-109页 |
| 本章小结 | 第109-110页 |
| 第四章 基于相移干涉术的MEMS测量技术 | 第110-145页 |
| 4.1 系统静态测量的标定 | 第110-114页 |
| 4.2 运动参数测量 | 第114-138页 |
| 4.2.1 测试器件及其激励 | 第115-116页 |
| 4.2.2 器件运动的理论分析 | 第116-117页 |
| 4.2.3 采集图像的评价方法 | 第117-118页 |
| 4.2.4 基于模板的全场重建方法 | 第118-123页 |
| 4.2.5 差分式测量方法 | 第123-124页 |
| 4.2.6 噪声层测量 | 第124页 |
| 4.2.7 面内运动测量 | 第124-126页 |
| 4.2.8 离面运动测量 | 第126-137页 |
| 4.2.9 激光多普勒测振仪测量结果的比对 | 第137页 |
| 4.2.10 全三维测量方法的探讨 | 第137-138页 |
| 4.3 系统技术参数的确定 | 第138-144页 |
| 4.3.1 系统的测量分辨力 | 第138-140页 |
| 4.3.2 系统的测量范围 | 第140-141页 |
| 4.3.3 被测器件的速度限制 | 第141-144页 |
| 本章小结 | 第144-145页 |
| 第五章 MEMS快速和大量程测量方法探讨 | 第145-159页 |
| 5.1 基于傅立叶变换的快速测量方法 | 第145-150页 |
| 5.1.1 数据处理方法 | 第145-149页 |
| 5.1.2 实验结果及分析 | 第149-150页 |
| 5.2 基于时间平均干涉的快速测量方法 | 第150-153页 |
| 5.2.1 数据处理方法 | 第150-152页 |
| 5.2.2 实验结果及分析 | 第152-153页 |
| 5.3 基于白光干涉的大量程测量方法 | 第153-157页 |
| 5.3.1 双/多波长方法 | 第153-154页 |
| 5.3.2 数据处理方法 | 第154-156页 |
| 5.3.3 实验结果及分析 | 第156-157页 |
| 本章小结 | 第157-159页 |
| 第六章 结论与展望 | 第159-162页 |
| 6.1 论文的主要工作总结 | 第159-160页 |
| 6.2 论文的创新点总结 | 第160页 |
| 6.3 下一步工作展望 | 第160-162页 |
| 参考文献 | 第162-176页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第176-179页 |
| 致谢 | 第179页 |
