大尺寸单晶硅阵列窄沟槽磨削加工技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-24页 |
| 1.1 论文选题背景及重要研究意义 | 第9-10页 |
| 1.2 单晶硅微细沟槽及结构的应用及制造方法 | 第10-16页 |
| 1.2.1 单晶硅微细沟槽及结构的应用 | 第10-13页 |
| 1.2.2 单晶硅微细沟槽及结构的制造方法 | 第13-16页 |
| 1.3 单晶硅的机械物理性质 | 第16-20页 |
| 1.4 缓进给磨削技术概述 | 第20-23页 |
| 1.5 课题来源、研究目标及内容 | 第23-24页 |
| 1.5.1 课题来源 | 第23页 |
| 1.5.2 课题的研究目标 | 第23页 |
| 1.5.3 课题的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 2 缓进给磨削质量的试验研究 | 第24-45页 |
| 2.1 实验条件 | 第24-26页 |
| 2.2 实验结果及分析 | 第26-43页 |
| 2.2.1 沟槽底部形貌 | 第26-29页 |
| 2.2.2 沟槽侧壁形貌 | 第29-33页 |
| 2.2.3 磨削崩边 | 第33-38页 |
| 2.2.4 表面陪片对磨削沟槽边缘质量的影响 | 第38-41页 |
| 2.2.5 表面研磨对磨削沟槽边缘质量的影响 | 第41-43页 |
| 2.3 样件 | 第43-44页 |
| 2.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 3 金刚石砂轮磨损行为试验研究 | 第45-56页 |
| 3.1 实验条件 | 第45-46页 |
| 3.2 试验结果及分析 | 第46-53页 |
| 3.2.1 砂轮圆角磨损分析 | 第47-48页 |
| 3.2.2 砂轮径向磨损分析 | 第48-50页 |
| 3.2.3 砂轮磨粒磨损行为分析 | 第50-53页 |
| 3.3 样件 | 第53-55页 |
| 3.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 4 梯形、V形微细槽及其结构制备 | 第56-62页 |
| 4.1 成型砂轮的制备 | 第56-58页 |
| 4.2 微细沟槽磨削质量评价 | 第58-59页 |
| 4.3 微细沟槽及结构制备 | 第59-60页 |
| 4.4 本章小结 | 第60-62页 |
| 结论及展望 | 第62-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
