| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第18-35页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第18-19页 |
| 1.2 Cr-Si-C-N薄膜摩擦性能研究进展 | 第19-33页 |
| 1.2.1 CrN薄膜结构、力学及摩擦学性能 | 第20-23页 |
| 1.2.2 Si元素掺杂CrN薄膜的结构、力学及摩擦学性能 | 第23-27页 |
| 1.2.3 C元素掺杂CrN薄膜的结构、力学及摩擦学性能 | 第27-30页 |
| 1.2.4 Si元素掺杂过渡金属碳化物薄膜的结构、力学及摩擦学性能 | 第30-31页 |
| 1.2.5 Si和C元素共掺杂CrN薄膜的结构、力学及摩擦学性能 | 第31-32页 |
| 1.2.6 CrN基薄膜的电化学性能 | 第32-33页 |
| 1.3 本文选题依据 | 第33-34页 |
| 1.4 本文研究内容 | 第34-35页 |
| 第二章 薄膜制备及研究方法 | 第35-43页 |
| 2.1 试验方案 | 第35页 |
| 2.2 薄膜制备 | 第35-37页 |
| 2.2.1 基体准备 | 第35-36页 |
| 2.2.2 薄膜制备 | 第36-37页 |
| 2.3 薄膜结构及形貌分析 | 第37-38页 |
| 2.3.1 物相及化学价键分析 | 第37页 |
| 2.3.2 形貌分析 | 第37-38页 |
| 2.3.3 薄膜表面粗糙度及磨痕形貌测试 | 第38页 |
| 2.4 薄膜力学性能分析 | 第38-39页 |
| 2.4.1 膜基结合力测试 | 第38页 |
| 2.4.2 薄膜硬度及弹性模量 | 第38-39页 |
| 2.5 薄膜摩擦性能及电化学性能分析 | 第39-42页 |
| 2.5.1 人工海水的制备 | 第39-40页 |
| 2.5.2 对磨材料 | 第40页 |
| 2.5.3 摩擦磨损试验 | 第40-41页 |
| 2.5.4 电化学性能分析 | 第41-42页 |
| 2.6 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 CrSiC薄膜的结构、力学性能及水环境中摩擦学性能 | 第43-63页 |
| 3.1 引言 | 第43页 |
| 3.2 CrSiC薄膜成分及结构分析 | 第43-46页 |
| 3.3 CrSiC薄膜形貌及力学性能分析 | 第46-47页 |
| 3.4 CrSiC薄膜在去离子水中的摩擦学特性 | 第47-57页 |
| 3.4.1 CrSiC薄膜的摩擦系数曲线 | 第48-49页 |
| 3.4.2 CrSiC薄膜的平均稳态摩擦系数及磨损率 | 第49-50页 |
| 3.4.3 CrSiC薄膜磨痕分析 | 第50-57页 |
| 3.5 CrSiC薄膜在海水中的摩擦学性能 | 第57-59页 |
| 3.5.1 CrSiC薄膜在海水中的摩擦系数及磨损率 | 第57-58页 |
| 3.5.2 CrSiC薄膜磨痕分析 | 第58-59页 |
| 3.6 CrSiC薄膜磨损机理分析 | 第59-61页 |
| 3.7 本章小结 | 第61-63页 |
| 第四章 CrSiCN薄膜的结构、力学性能及水环境中摩擦学性能 | 第63-108页 |
| 4.1 引言 | 第63页 |
| 4.2 CrSiCN薄膜成分及结构分析 | 第63-67页 |
| 4.3 CrSiCN薄膜形貌及力学性能分析 | 第67-73页 |
| 4.4 CrSiCN薄膜的摩擦学特性研究 | 第73-86页 |
| 4.4.1 CrSiCN薄膜的摩擦系数曲线 | 第73-74页 |
| 4.4.2 CrSiCN薄膜的平均稳态摩擦系数及磨损率 | 第74-76页 |
| 4.4.3 CrSiCN薄膜磨痕分析 | 第76-86页 |
| 4.5 CrSiCN薄膜在海水中的摩擦学特性 | 第86-91页 |
| 4.5.1 CrSiCN薄膜在海水中的摩擦系数及磨损率 | 第86-87页 |
| 4.5.2 CrSiCN薄膜磨痕分析 | 第87-91页 |
| 4.6 碳含量对CrSiCN薄膜的结构、力学性能及摩擦特性的影响 | 第91-97页 |
| 4.6.1 无碳靶制备CrSiCN薄膜的结构分析 | 第91-93页 |
| 4.6.2 无碳靶制备CrSiCN薄膜的形貌及力学性能分析 | 第93-95页 |
| 4.6.3 碳含量对CrSiCN薄膜摩擦系数及磨损率的影响 | 第95-97页 |
| 4.7 CrSiCN薄膜的摩擦磨损机理分析 | 第97-106页 |
| 4.7.1 CrSiCN薄膜与SiC球及Si3N4球对磨的磨损机理 | 第97-99页 |
| 4.7.2 水合硅胶层的双电层效应对摩擦特性的影响 | 第99-100页 |
| 4.7.3 CrSiCN薄膜与Al2O3球对磨的磨损机理 | 第100-101页 |
| 4.7.4 CrSiCN薄膜与SUS440C球对磨的磨损机理 | 第101-102页 |
| 4.7.5 薄膜结构变化对磨损机理的影响 | 第102-105页 |
| 4.7.6 CrSiCN薄膜在海水中的磨损机理分析 | 第105-106页 |
| 4.8 本章小结 | 第106-108页 |
| 第五章 载荷和速度对CrSiCN薄膜摩擦磨损机理的影响 | 第108-127页 |
| 5.1 引言 | 第108页 |
| 5.2 CrSiCN-15 在去离子水中的摩擦学性能分析 | 第108-115页 |
| 5.2.1 载荷和速度对摩擦系数及磨损率的影响 | 第108-111页 |
| 5.2.2 CrSiCN-15 在去离子水中的润滑机理 | 第111-112页 |
| 5.2.3 CrSiCN-15 在去离子水中的磨损机理 | 第112-115页 |
| 5.3 CrSiCN-15 在人工海水中的摩擦学性能分析 | 第115-122页 |
| 5.3.1 载荷和速度对摩擦系数及磨损率的影响 | 第115-118页 |
| 5.3.2 CrSiCN-15 在海水中的润滑机理 | 第118-119页 |
| 5.3.3 CrSiCN-15 在海水中的磨损机理 | 第119-122页 |
| 5.4 不同参数下的摩擦磨损机理分析 | 第122-126页 |
| 5.4.1 载荷对磨损机理的影响 | 第122-124页 |
| 5.4.2 摩擦热对磨损机理的影响 | 第124-125页 |
| 5.4.3 摩擦介质对摩擦特性的影响 | 第125-126页 |
| 5.5 本章小结 | 第126-127页 |
| 第六章 Cr-Si-C-N薄膜在海水中的电化学特性 | 第127-136页 |
| 6.1 引言 | 第127页 |
| 6.2 CrSiC(N)薄膜的电化学特性 | 第127-131页 |
| 6.2.1 CrSiC(N)薄膜的开路电压 | 第127-128页 |
| 6.2.2 CrSiC(N)薄膜的交流阻抗谱 | 第128-129页 |
| 6.2.3 CrSiC(N)动电位极化测试 | 第129-131页 |
| 6.3 CrSiCN薄膜的电化学特性 | 第131-134页 |
| 6.3.1 CrSiCN薄膜的开路电压 | 第131-132页 |
| 6.3.2 CrSiCN交流阻抗谱 | 第132-134页 |
| 6.3.3 CrSiCN薄膜动电位极化测试 | 第134页 |
| 6.4 本章小结 | 第134-136页 |
| 第七章 总结与展望 | 第136-139页 |
| 7.1 总结 | 第136-137页 |
| 7.2 本文创新点 | 第137-138页 |
| 7.3 展望 | 第138-139页 |
| 参考文献 | 第139-152页 |
| 致谢 | 第152-153页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第153-154页 |
