| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-24页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第16-17页 |
| 1.2 精密定位平台的分类和发展现状 | 第17-21页 |
| 1.2.1 精密定位平台的分类 | 第17页 |
| 1.2.2 柔顺精密定位平台的发展现状 | 第17-21页 |
| 1.3 本论文的研究内容和安排 | 第21-22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-24页 |
| 第二章 柔顺精密定位平台的结构设计 | 第24-36页 |
| 2.1 柔顺精密定位平台简介 | 第24-27页 |
| 2.1.1 柔顺构件与刚性构件的对比 | 第24-26页 |
| 2.1.2 常见的柔顺构件的类型 | 第26页 |
| 2.1.3 柔顺精密定位系统的简介 | 第26-27页 |
| 2.2 柔顺精密定位平台的设计要求与原则 | 第27-30页 |
| 2.2.1 柔顺精密定位平台的设计要求 | 第27-29页 |
| 2.2.2 柔顺精密定位平台的设计方法 | 第29-30页 |
| 2.3 柔顺定位模块的结构设计 | 第30-33页 |
| 2.3.1 柔顺定位模块的替换原则 | 第30页 |
| 2.3.2 基于柔顺梁建模的基本柔顺定位模块 | 第30-32页 |
| 2.3.3 其它柔顺定位模块 | 第32-33页 |
| 2.4 柔顺精密定位平台的构型 | 第33-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 柔顺定位模块的静力学分析 | 第36-52页 |
| 3.1 柔顺梁大挠度变形的非线性分析 | 第36-41页 |
| 3.1.1 柔顺梁大挠度非线性变形分析的介绍 | 第36-37页 |
| 3.1.2 大挠度变形情况下柔顺梁的非线性分析 | 第37-40页 |
| 3.1.3 不同算法下的分析结果的对比 | 第40-41页 |
| 3.2 基本柔顺定位模块的静力学分析 | 第41-45页 |
| 3.2.1 平行四边形柔顺定位模块 | 第41-42页 |
| 3.2.2 复合平行四边形柔顺定位模块 | 第42-43页 |
| 3.2.3 双平行四边形柔顺定位模块 | 第43-44页 |
| 3.2.4 混合平行四边形柔顺定位模块 | 第44-45页 |
| 3.3 基本柔顺定位模块刚度特性的分析 | 第45-51页 |
| 3.3.1 基本柔顺定位模块的刚度特性 | 第45-46页 |
| 3.3.2 柔顺定位模块刚度特性的影响因素 | 第46-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 第四章 柔顺精密定位平台的性能分析 | 第52-64页 |
| 4.1 柔顺精密定位平台的静力学特性分析 | 第52-57页 |
| 4.1.1 柔顺精密定位平台的力学建模 | 第52-53页 |
| 4.1.2 柔顺精密定位平台的静力学特性数值计算 | 第53-56页 |
| 4.1.3 柔顺精密定位平台中柔顺梁屈曲的验证 | 第56-57页 |
| 4.2 柔顺精密定位平台静力学特性的ANSYS仿真 | 第57-60页 |
| 4.2.1 柔顺精密定位平台ANSYS静力学仿真分析 | 第57-59页 |
| 4.2.2 柔顺精密定位平台的轴向刚度 | 第59-60页 |
| 4.3 柔顺精密定位平台的动力学特性分析 | 第60-63页 |
| 4.3.1 柔顺精密定位平台的ANSYS建模仿真 | 第60-61页 |
| 4.3.2 柔顺精密定位平台的固有频率的研究 | 第61-62页 |
| 4.3.3 柔顺精密定位平台驱动性能的分析 | 第62-63页 |
| 4.4 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 柔顺精密定位平台的加工制作和闭环系统设计 | 第64-72页 |
| 5.1 柔顺精密定位平台的加工制作 | 第64-66页 |
| 5.1.1 柔顺精密定位平台的材料选择 | 第64-65页 |
| 5.1.2 柔顺精密定位平台加工方法选择 | 第65-66页 |
| 5.2 柔顺精密定位平台驱动器和位移检测装置的选择 | 第66-69页 |
| 5.2.1 柔顺精密定位平台的驱动器选择 | 第66-68页 |
| 5.2.2 柔顺精密定位平台的位移检测装置选择 | 第68-69页 |
| 5.3 柔顺精密定位平台闭环伺服控制系统设计 | 第69-70页 |
| 5.4 本章小结 | 第70-72页 |
| 第六章 总结与展望 | 第72-74页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第72-73页 |
| 6.2 论文工作展望 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 致谢 | 第78-80页 |
| 作者简介 | 第80-81页 |
