FBAR微加速度计设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·课题研究背景及研究意义 | 第8-9页 |
| ·微加速度计研究现状概况 | 第9-15页 |
| ·技术路线 | 第15-17页 |
| ·主要研究内容 | 第17-18页 |
| ·本文组织安排 | 第18-19页 |
| 2 机理研究 | 第19-44页 |
| ·表头的工作原理 | 第19-24页 |
| ·惯性力敏结构的力学特性 | 第19-21页 |
| ·FBAR的电声谐振特性 | 第21-24页 |
| ·FBAR各膜层材料选择 | 第24-25页 |
| ·FBAR的力敏机理 | 第25-28页 |
| ·力敏特性多尺度计算仿真模型 | 第28-42页 |
| ·表头的有限元模型 | 第31-34页 |
| ·FBAR的Mason电学模型 | 第34-39页 |
| ·FBAR微分-综合仿真分析模型 | 第39-42页 |
| ·辅助设计软件介绍 | 第42-43页 |
| ·射频仿真软件ADS | 第42页 |
| ·有限元仿真软件ANSYS | 第42-43页 |
| ·集成电路设计工具L-Edit | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 结构设计 | 第44-56页 |
| ·膜片上FBAR结构 | 第44-48页 |
| ·膜片上FBAR结构力学特性 | 第48-51页 |
| ·膜片上FBAR结构电声谐振特性 | 第51-52页 |
| ·表头灵敏度分析 | 第52-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 4 温度补偿设计 | 第56-67页 |
| ·FBAR谐振频率影响因素 | 第56-61页 |
| ·温度-频率漂移机理 | 第58-59页 |
| ·温度-频率漂移特性仿真 | 第59-61页 |
| ·元件级温度补偿方法 | 第61-62页 |
| ·系统级温度补偿方法 | 第62-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 工艺设计 | 第67-77页 |
| ·工艺流程 | 第67-71页 |
| ·关键工艺 | 第71-73页 |
| ·加工版图 | 第73-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 6 测试与表征 | 第77-85页 |
| ·测试 | 第77-80页 |
| ·表征 | 第80-82页 |
| ·结果与讨论 | 第82-84页 |
| ·本章小结 | 第84-85页 |
| 结论 | 第85-87页 |
| 1. 论文的主要工作 | 第85-86页 |
| 2. 论文的创新点 | 第86页 |
| 3. 后续工作展望 | 第86-87页 |
| 致谢 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-93页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第93页 |
