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ZnO纳米棒/GaN异质结的生长及其Ag掺杂研究

摘要第1-5页
ABSTRACT第5-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·引言第10页
   ·第三代半导体材料简介第10-17页
     ·Ⅲ-Ⅴ族半导体第10-13页
     ·Ⅱ-Ⅵ族化合物第13-17页
   ·GaN和ZnO材料在器件中的应用第17-18页
     ·GaN基异质结在发光关器件中的应用第17-18页
     ·ZnO材料在发光器件中的应用第18页
   ·pn结原理及ZnO纳米棒/p-GaN异质结LED的研究进展第18-20页
   ·本论文主要工作第20-22页
 参考文献第22-26页
第二章 样品制备原理及表征方法第26-38页
   ·材料制备第26-30页
     ·MOCVD生长Ga N的生长方法及原理第26-29页
     ·GaN的p型掺杂第29-30页
     ·ZnO纳米棒的制备及原理第30页
   ·表征方法第30-36页
     ·X射线衍射(XRD)第31页
     ·光致发光谱(PL)第31-32页
     ·原子力显微镜(AFM)第32-33页
     ·场发射扫描电子显微镜(FESEM)第33页
     ·透射电子显微镜(TEM)第33-34页
     ·电流-电压特性曲线(I-V)第34-36页
 参考文献第36-38页
第三章衬底不同处理方法对ZnO纳米棒结构及性能的影响第38-50页
   ·GaN衬底掺杂模式对ZnO纳米棒光学性质的调制第38-43页
     ·引言第38页
     ·实验第38-39页
     ·结构及晶体质量表征第39-40页
     ·形貌表征第40-42页
     ·光学性能分析第42-43页
   ·GaN衬底不同清洗方法对ZnO纳米棒的影响第43-46页
     ·引言第43页
     ·实验第43-44页
     ·GaN衬底不同清洗方法对ZnO纳米棒形貌及光学性质的影响第44-46页
   ·本章小结第46-47页
 参考文献第47-50页
第四章 ZnO纳米棒的Ag掺杂对Zn O纳米棒/p-GaN结构和性能的影响第50-64页
   ·引言第50-51页
   ·实验第51-52页
   ·结果与讨论第52-58页
     ·Ag掺杂浓度对Zn O纳米棒/p-GaN结构和性能的影响第52-56页
     ·ZnO生长时间对ZnO纳米棒/p-GaN结构和性能的影响第56-58页
   ·本章小结第58-60页
 参考文献第60-64页
第五章 结论与展望第64-66页
致谢第66-67页
攻读硕士学位期间发表的论文第67页

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