| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·光栅的研究与应用 | 第7-10页 |
| ·光栅刻划设备 | 第10-12页 |
| ·本文的研究目的 | 第12页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 刻线机任意分度定位控制系统方案设计 | 第13-32页 |
| ·变距光栅原理 | 第13-21页 |
| ·长刻线机的分度原理 | 第21-22页 |
| ·长刻线机任意分度定位控制系统方案设计 | 第22-29页 |
| ·控制系统传动部分建模 | 第29-32页 |
| 第三章 控制系统硬件及电路 | 第32-48页 |
| ·单片机及其外围电路 | 第32-34页 |
| ·步进电机及驱动 | 第34-36页 |
| ·工作台位移反馈 | 第36-41页 |
| ·伺服电机及驱动 | 第41-46页 |
| ·刻划刀架动作 | 第46-48页 |
| 第四章 系统软件设计 | 第48-56页 |
| ·控制过程 | 第48-49页 |
| ·初始化程序 | 第49-50页 |
| ·控制流程 | 第50-56页 |
| 第五章 控制系统误差分析和实验结果 | 第56-64页 |
| ·控制系统误差分析 | 第56-60页 |
| ·控制系统定位精度检测实验 | 第60-61页 |
| ·刻划实验与结果分析 | 第61-64页 |
| 结论和展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-67页 |