| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·干涉技术发展及应用 | 第8-9页 |
| ·衍射光栅的介绍 | 第9-13页 |
| ·本论文研究目的及意义 | 第13-14页 |
| 第二章 衍射理论及衍射光栅性质 | 第14-24页 |
| ·惠更斯—菲涅耳原理 | 第14-15页 |
| ·菲涅耳-基尔霍夫衍射公式 | 第15-16页 |
| ·旁轴近似 | 第16-17页 |
| ·菲涅耳近似 | 第17页 |
| ·夫琅禾费近似 | 第17-18页 |
| ·衍射光栅衍射性质 | 第18-24页 |
| 第三章 产生衍射波前缺陷的参数及测量方法 | 第24-37页 |
| ·光栅衍射图样光强度分布的数字解 | 第24-25页 |
| ·刻划误差和波面像差的关系 | 第25-27页 |
| ·周期刻划误差的影响 | 第27-28页 |
| ·衍射光栅检测 | 第28-37页 |
| 第四章 衍射凹面光栅的波前检测研究 | 第37-51页 |
| ·凹面光栅性质 | 第37-40页 |
| ·本实验过程 | 第40-45页 |
| ·针对光栅模拟进行相关的像差分析 | 第45-51页 |
| 第五章 总结与展望 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-54页 |