| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题研究背景与意义 | 第10-11页 |
| ·超声悬浮技术 | 第11-14页 |
| ·超声波驻波悬浮 | 第11-13页 |
| ·超声波近声场悬浮 | 第13-14页 |
| ·气动悬浮技术 | 第14-15页 |
| ·气浮悬浮的原理 | 第14-15页 |
| ·气动悬浮技术在精密定位平台中的应用 | 第15页 |
| ·非接触式超声压电驱动器 | 第15-18页 |
| ·非接触式超声压电驱动器的驱动机理 | 第15-16页 |
| ·非接触式超声压电驱动器的研究现状 | 第16-18页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第18-20页 |
| 第2章 超声波近声场悬浮理论及行波形成分析 | 第20-30页 |
| ·压电换能器振子分析 | 第20-23页 |
| ·圆盘式压电换能器的声压分布 | 第23-24页 |
| ·超声波近声场悬浮的声压 | 第24-27页 |
| ·平板的行波形成法 | 第27-29页 |
| ·驻波叠加形成法 | 第27-28页 |
| ·激振—吸振法 | 第28-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 超声压电换能器的设计与研究 | 第30-52页 |
| ·压电换能器的结构设计 | 第30-34页 |
| ·压电材料的选取 | 第31-33页 |
| ·换能器前后端盖的选取 | 第33-34页 |
| ·圆盘式夹心压电换能器尺寸的设计 | 第34-43页 |
| ·压电换能器振子部分的尺寸设计 | 第34-36页 |
| ·变幅杆的结构尺寸设计 | 第36-40页 |
| ·纵—弯模式圆盘弯曲振动压电换能器的理论设计 | 第40-42页 |
| ·弯曲振动圆盘的基础理论 | 第42-43页 |
| ·圆盘式夹心压电换能器的有限元分析 | 第43-51页 |
| ·模态分析 | 第43-45页 |
| ·谐振分析 | 第45-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 超声悬浮—气浮混合悬浮的悬浮特性研究 | 第52-62页 |
| ·混合悬浮系统的设计 | 第52-56页 |
| ·混合悬浮的结构设计 | 第52-53页 |
| ·混合悬浮的承载力分析 | 第53-56页 |
| ·超声波近声场悬浮系统测试 | 第56-58页 |
| ·电压与振幅的关系 | 第57-58页 |
| ·悬浮高度与负载的关系 | 第58页 |
| ·混合悬浮承载力的测试 | 第58-61页 |
| ·混合悬浮承载力的测试系统 | 第58-59页 |
| ·试验数据的测量 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 超声悬浮—气浮混合悬浮的非接触式驱动器的研究 | 第62-74页 |
| ·混合悬浮运输驱动器的设计 | 第62-70页 |
| ·混合悬浮运输驱动器的结构分析 | 第62-65页 |
| ·超声行波的压电换能器固定位置分析 | 第65-66页 |
| ·接收式换能器的阻抗匹配分析 | 第66-67页 |
| ·悬浮物的受力分析 | 第67-70页 |
| ·混合悬浮运输驱动器系统的实验测试 | 第70-73页 |
| ·实验测试系统的搭建 | 第70-71页 |
| ·影响物体运输速度的相关因素 | 第71-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第6章 结论与展望 | 第74-76页 |
| ·结论 | 第74-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 附录一 | 第80-81页 |
| 作者简介 | 第81页 |
| 攻读硕士学位期间所取得的科研成果 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |