| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 引言 | 第10-18页 |
| ·设备维护的重要性 | 第10-11页 |
| ·课题来源 | 第11-12页 |
| ·设备维护管理的发展概况 | 第12-16页 |
| ·本文的结构及创新性 | 第16-18页 |
| 第二章 某半导体封装设备介绍 | 第18-28页 |
| ·设备简介 | 第18-23页 |
| ·设备故障介绍 | 第23-25页 |
| ·现有维护体系简介 | 第25-28页 |
| 第三章 时间序列分析的理论研究 | 第28-50页 |
| ·故障预测理论概述 | 第28-31页 |
| ·时间序列分析概述 | 第31-35页 |
| ·时间序列分析的建模过程 | 第35-42页 |
| ·ARMA 模型建模过程 | 第42-50页 |
| 第四章 设备生产率时间序列模型的建立与预测 | 第50-64页 |
| ·设备生产率原始数据的准备 | 第50-52页 |
| ·数据的观察、预处理及检验 | 第52-58页 |
| ·生产率时间序列ARIMA(N, D, M)模型的结构识别 | 第58-61页 |
| ·生产率时间序列ARIMA(M,D,N)模型对设备工作状态的预测 | 第61-64页 |
| 第五章 设备故障发生分析及建模原理 | 第64-75页 |
| ·设备故障分析 | 第64-69页 |
| ·对设备故障间运行时间进行预测的重要性 | 第69-70页 |
| ·设备的事件日志介绍 | 第70页 |
| ·设备运行及故障发生时间模型 | 第70-73页 |
| ·设备运行时间建模思想 | 第73-75页 |
| 第六章 故障间运行时间ARIMA(M,D,N)模型的建立与预测 | 第75-92页 |
| ·样本数据的准备 | 第75-78页 |
| ·数据的观察、预处理及检验 | 第78-87页 |
| ·设备故障间运行时间ARIMA(M ,D, N)模型的建立 | 第87-89页 |
| ·ARIMA(M,D,N)模型对设备故障间运行时间的预测 | 第89-92页 |
| 第七章 结论与展望 | 第92-94页 |
| 致谢 | 第94-95页 |
| 参考文献 | 第95-99页 |
| 攻硕期间的研究成果 | 第99-100页 |
