| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-29页 |
| ·ZnO 薄膜的研究现状 | 第9-13页 |
| ·ZnO 的性质 | 第13-16页 |
| ·ZnO 薄膜的应用 | 第16-20页 |
| ·ZnO 薄膜的制备技术 | 第20-26页 |
| ·选题依据 | 第26-29页 |
| 第二章 实验设备与测试表征技术 | 第29-33页 |
| ·实验设备 | 第29-30页 |
| ·实验中所需要的主要材料和试剂 | 第30-31页 |
| ·样品的测试和表征 | 第31-33页 |
| 第三章 PLD 方法生长ZnO 薄膜 | 第33-55页 |
| ·样品的制备 | 第33页 |
| ·衬底温度对ZnO 薄膜的影响 | 第33-44页 |
| ·氧分压对ZnO 薄膜的影响 | 第44-51页 |
| ·在不同衬底上生长ZnO 薄膜 | 第51-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第四章 退火温度对ZnO 薄膜的影响 | 第55-61页 |
| ·样品的制备 | 第55页 |
| ·结果与讨论 | 第55-60页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| 第五章 结论 | 第61-63页 |
| ·本文的主要研究结果 | 第61-62页 |
| ·对今后工作的建议 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-75页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79页 |