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碳纳米管场发射平板显示器件关键技术的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-12页
第一章 绪论第12-37页
   ·电子显示器件综述第12-16页
     ·FPD的发展简况第12-14页
     ·常见的FPD第14-16页
   ·场发射平板显示器第16-26页
     ·场发射显示器原理第17-18页
     ·几种主要的场发射显示技术分析第18-26页
   ·场发射平板显示市场前景第26-33页
   ·我国FED器件研究的现状第33-35页
   ·本论文的工作第35-37页
第二章 多功能超高真空系统的建立第37-45页
   ·多功能超高真空系统第37-40页
     ·系统结构第37-39页
     ·主要技术指标第39-40页
   ·等离子体表面处理子系统第40-41页
   ·场发射测试子系统第41-43页
   ·超高真空退火子系统第43-44页
 本章小结第44-45页
第三章 印刷法制备碳纳米管阴极及其场发射性能的改善第45-73页
   ·引言第45-48页
     ·丝网印刷法制备图形化的CNT阴极第46-47页
     ·提高印刷法制备的CNT阴极电子发射性能的思路第47-48页
   ·等离子体表面处理提高CNT阴极电子发射性能第48-54页
     ·纳米瘤状颗粒的TEM表征第49-50页
     ·纳米瘤状颗粒的形成第50页
     ·等离子体表面处理改性机理第50-54页
   ·印刷法制备的CNT膜的记忆发射效应第54-61页
     ·CNT膜的记忆发射现象第54-55页
     ·记忆发射现象的机理研究第55-61页
   ·印刷法制备CNT膜与衬底接触性能的改善第61-72页
     ·CNT膜与金属电极接触电阻的测试方法第61-64页
     ·退火对CNT膜与衬底接触电阻的影响第64-67页
     ·改变接触电阻对场发射性能的影响第67-68页
     ·退火对CNT膜与衬底结合力的影响第68-72页
 本章小结第72-73页
第四章 印刷法制备三极管器件结构第73-89页
   ·引言第73-75页
   ·三极管结构的实现方法第75-76页
   ·全印刷法制备三极管结构第76-83页
   ·全印刷法的三极管结构制备工艺改进第83-87页
 本章小结第87-89页
第五章 CNT-FED原型器件的设计和实现第89-104页
   ·引言第89页
   ·器件制作的一般工艺第89-92页
     ·阴极制作第90页
     ·阳极制作第90页
     ·支撑结构第90-91页
     ·封装第91-92页
     ·真空度的维持第92页
   ·CNT-FED原型器件的设计与实现第92-102页
     ·三基色显示器件第92-94页
     ·三极管结构器件第94-95页
     ·动态显示的数码管第95-98页
     ·动态字符显示器件第98-102页
 本章小结第102-104页
第六章 结论第104-106页
参考文献第106-116页
攻读博士学位期间发表的论文目录第116-119页
攻读博士学位期间申请和授权的专利目录第119-121页
致谢第121-122页
个人简历第122-123页
学位论文独创性和授权使用声明第123页

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