| 摘要 | 第1-10页 |
| Abstract | 第10-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-27页 |
| 1．1 引言 | 第13-14页 |
| 1．2 薄膜材料制备技术 | 第14-16页 |
| 1．2．1 表面涂敷技术 | 第14-15页 |
| 1．2．2 电镀和化学镀 | 第15页 |
| 1．2．3 化学转化膜 | 第15-16页 |
| 1．2．4 气相沉积技术 | 第16页 |
| 1．3 薄膜材料的表征方法 | 第16-19页 |
| 1．3．1 薄膜成分、形貌及结构的表征 | 第16-17页 |
| 1．3．2 薄膜厚度的表征 | 第17-18页 |
| 1．3．3 薄膜力学性能的表征 | 第18页 |
| 1．3．4 薄膜耐蚀性能表征 | 第18-19页 |
| 1．4 薄膜材料的发展及应用 | 第19-24页 |
| 1．4．1 铁电薄膜材料 | 第19-21页 |
| 1．4．2 耐磨及表面防护层 | 第21-23页 |
| 1．4．3 铁基软磁薄膜 | 第23-24页 |
| 1．5 本研究工作的目的意义和主要内容 | 第24-27页 |
| 第2章 BaTiO_3薄膜的铁电和力学性能 | 第27-45页 |
| 2．1 引言 | 第27页 |
| 2．2 实验方法 | 第27-31页 |
| 2．2．1 实验仪器 | 第27-28页 |
| 2．2．2 薄膜的制备 | 第28页 |
| 2．2．3 BTO 薄膜的形貌和结构 | 第28-30页 |
| 2．2．4 BTO 薄膜铁电性能的测试 | 第30页 |
| 2．2．5 薄膜应力测试方法 | 第30-31页 |
| 2．3 薄膜厚度对BTO 薄膜应力和铁电性能的影响 | 第31-34页 |
| 2．3．1 BTO 薄膜厚度对应力的影响 | 第31-32页 |
| 2．3．2 BTO 薄膜厚度对铁电性能的影响 | 第32-34页 |
| 2．4 BTO 薄膜铁电性能和温度的关系 | 第34-35页 |
| 2．5 温度对薄膜应力的影响 | 第35-37页 |
| 2．6 薄膜厚度和应力对BTO 薄膜铁电性能的影响 | 第37-39页 |
| 2．7 BTO 薄膜的力学性能 | 第39-43页 |
| 2．7．1 硅基上单层BTO 薄膜热循环中的应力行为 | 第39-41页 |
| 2．7．2 BTO 薄膜的力学参数 | 第41-43页 |
| 2．8 小结 | 第43-45页 |
| 第3章 离子束技术制备类金刚石膜的力学和耐蚀性能 | 第45-62页 |
| 3．1 引言 | 第45-46页 |
| 3．2 实验方法 | 第46-50页 |
| 3．2．1 类金刚石膜离子束沉积工艺 | 第46-47页 |
| 3．2．2 类金刚石膜的结构和性能分析 | 第47-50页 |
| 3．3 类金刚石膜的力学性能 | 第50-53页 |
| 3．3．1 类金刚石膜的显微硬度 | 第50-51页 |
| 3．3．2 类金刚石膜的粘结强度 | 第51-52页 |
| 3．3．3 类金刚石膜的摩擦性能 | 第52-53页 |
| 3．4 类金刚石膜的耐蚀性能 | 第53-60页 |
| 3．4．1 失重试验结果分析 | 第53-54页 |
| 3．4．2 电化学试验结果分析 | 第54-59页 |
| 3．4．3 金相显微分析 | 第59-60页 |
| 3．5 小结 | 第60-62页 |
| 第4章 化学镀Fe-P合金工艺及镀层耐蚀性 | 第62-86页 |
| 4．1 引言 | 第62-63页 |
| 4．2 化学镀铁合金的电化学反应机制 | 第63-64页 |
| 4．3 实验方法 | 第64-69页 |
| 4．3．1 化学镀工艺 | 第64-65页 |
| 4．3．2 化学沉积过程的电化学研究 | 第65-66页 |
| 4．3．3 镀层沉积速率的测量 | 第66-67页 |
| 4．3．4 镀层的腐蚀行为 | 第67-69页 |
| 4．4 化学镀 Fe-P 合金的反应速率 | 第69-72页 |
| 4．5 化学沉积过程的电化学研究 | 第72-80页 |
| 4．5．1 化学沉积过程的阴、阳极极化曲线 | 第72-76页 |
| 4．5．2 化学沉积过程的电位—时间曲线 | 第76-77页 |
| 4．5．3 不同成分镀液中的极化曲线 | 第77-78页 |
| 4．5．4 沉积速率和稳定电位的关系 | 第78-80页 |
| 4．6 化学镀铁合金的腐蚀行为 | 第80-85页 |
| 4．6．1 化学镀铁合金在NaCl 溶液中的腐蚀行为 | 第80-81页 |
| 4．6．2 化学镀铁合金在 HCl 溶液中的腐蚀行为 | 第81页 |
| 4．6．3 化学镀铁合金在 NaOH 溶液中的腐蚀行为 | 第81-85页 |
| 4．7 小结 | 第85-86页 |
| 结论 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 附录 A(攻读博士学位期间所发表的学术论文目录) | 第101-102页 |
