纳米加工机理、纳米结构实现及表面检测实验研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·纳米加工概况 | 第8-10页 |
| ·纳米技术 | 第8-9页 |
| ·纳米加工技术 | 第9-10页 |
| ·纳米加工机理研究状况 | 第10-13页 |
| ·纳米加工的分子动力学仿真 | 第10-12页 |
| ·SPM 在纳米加工研究中的应用 | 第12-13页 |
| ·本课题的研究内容 | 第13-14页 |
| 第二章 基于分子动力学仿真的纳米切削加工机理研究 | 第14-33页 |
| ·MD 基本原理 | 第14页 |
| ·MD 仿真的相关理论与技术 | 第14-22页 |
| ·势函数 | 第14-17页 |
| ·平衡与非平衡系统 | 第17-18页 |
| ·边界条件 | 第18页 |
| ·仿真平衡系统的建立 | 第18-19页 |
| ·牛顿运动方程 | 第19页 |
| ·求解运动方程的算法 | 第19-20页 |
| ·时间步长 | 第20-21页 |
| ·仿真温度提取 | 第21-22页 |
| ·速度标定 | 第22页 |
| ·纳米加工仿真模型的建立 | 第22-25页 |
| ·晶体结构简介 | 第22-23页 |
| ·仿真模型说明 | 第23-25页 |
| ·仿真计算步骤 | 第25页 |
| ·仿真结果与分析 | 第25-31页 |
| ·微观切削加工过程机理分析 | 第25-27页 |
| ·仿真加工中的切削温度 | 第27页 |
| ·不同加工条件仿真结果分析 | 第27-29页 |
| ·加工前后工件体积变化分析 | 第29-30页 |
| ·分子动力学仿真研究纳米加工机理的特点 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 纳米切削MD 软件开发 | 第33-39页 |
| ·纳米切削MD 仿真软件结构 | 第33-35页 |
| ·仿真软件概述 | 第33页 |
| ·MD 软件的组成模块 | 第33-35页 |
| ·MD 仿真软件使用 | 第35-38页 |
| ·仿真软件界面说明 | 第35-36页 |
| ·软件使用的基本过程 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第四章 利用SPM 的纳米加工实验与加工表面检测 | 第39-62页 |
| ·SPM 的原理 | 第39-42页 |
| ·STM 的原理 | 第39-40页 |
| ·AFM 的原理 | 第40-42页 |
| ·CSPM-2000wet 型扫描探针显微镜系统 | 第42-45页 |
| ·系统结构 | 第43-44页 |
| ·工作环境的建立 | 第44-45页 |
| ·加工实验前的准备工作 | 第45-48页 |
| ·STM 探针的制备 | 第45-46页 |
| ·AFM 探针的选用 | 第46-47页 |
| ·样品的制备 | 第47-48页 |
| ·SPM 的加工实验 | 第48-52页 |
| ·不同参数下的刻蚀实验 | 第49-51页 |
| ·复杂图形加工实验 | 第51-52页 |
| ·SPM 加工机理分析及影响因素分析 | 第52-55页 |
| ·SPM 的电场加工模型 | 第52-53页 |
| ·SPM 氧化机理分析 | 第53-54页 |
| ·加工中影响因素分析 | 第54-55页 |
| ·SPM 在加工表面微观形貌检测中的应用 | 第55-60页 |
| ·SPM 对样品微观形貌的检测实验 | 第55-59页 |
| ·SPM 检测要注意的问题 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第五章 全文总结 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
