新型体微机械工艺制造高性能加速度传感器的研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| 第一章 引言 | 第7-21页 |
| ·微电子机械系统 | 第7-10页 |
| ·微电子机械系统(MEMS)概述 | 第7-8页 |
| ·MEMS器件 | 第8-9页 |
| ·MEMS中用到的材料 | 第9-10页 |
| ·MEMS加工技术 | 第10-16页 |
| ·MEMS加工技术概述 | 第10-13页 |
| ·表面微机械加工技术 | 第10-11页 |
| ·体微机械加工技术 | 第11-13页 |
| ·制作高深宽比可动结构的体硅绝缘工艺 | 第13-16页 |
| ·使用SOI硅片 | 第13-14页 |
| ·SCREAM工艺 | 第14-15页 |
| ·SBM工艺 | 第15-16页 |
| ·微机械加速度计 | 第16-20页 |
| ·微机械加速度计原理概述 | 第16-18页 |
| ·压阻式微机械加速度计 | 第18-19页 |
| ·加速度计的自检 | 第19-20页 |
| ·本论文主要内容 | 第20-21页 |
| 第二章 加速度传感器设计原理 | 第21-35页 |
| ·本文设计的加速度传感器介绍 | 第21-23页 |
| ·带有自检驱动功能的侧壁压阻敏感加速度传感器 | 第21页 |
| ·加速度计结构介绍 | 第21-23页 |
| ·器件特性分析 | 第23-28页 |
| ·传感器受加速度作用下的压阻灵敏度分析 | 第23-25页 |
| ·侧壁压阻分析及设计 | 第25-26页 |
| ·传感器电路分析 | 第26-27页 |
| ·悬臂梁振动及阻尼特性分析 | 第27-28页 |
| ·自检驱动分析 | 第28-33页 |
| ·自检驱动的传感器电路 | 第29-30页 |
| ·直流电驱动分析 | 第30-31页 |
| ·交流电驱动分析 | 第31-33页 |
| ·设计结果 | 第33-35页 |
| ·工作指标 | 第33-34页 |
| ·自检性能 | 第34-35页 |
| 第三章 制作工艺研究 | 第35-49页 |
| ·关键工艺研究 | 第35-39页 |
| ·深槽侧壁绝缘工艺的原理及可行性研究 | 第35-37页 |
| ·侧壁扩散工艺的研究 | 第37-39页 |
| ·单步工艺参数的选择和研究 | 第39-43页 |
| ·硅片和掺杂的基本参数 | 第39页 |
| ·氧化和扩散的工艺参数 | 第39-41页 |
| ·湿法腐蚀的工艺参数 | 第41-42页 |
| ·干法腐蚀的工艺参数 | 第42页 |
| ·光刻的工艺参数 | 第42-43页 |
| ·LPCVD的工艺参数 | 第43页 |
| ·器件制作完整工艺流程 | 第43-46页 |
| ·制作结果(实物照片) | 第46-49页 |
| 第四章 器件测试 | 第49-56页 |
| ·半导体电学性能测试 | 第49-50页 |
| ·电自检测实验 | 第50-53页 |
| ·直流驱动自检(静态测试) | 第50-51页 |
| ·交流驱动自检(动态测试) | 第51-52页 |
| ·自检测试结论 | 第52-53页 |
| ·加速度实验 | 第53-56页 |
| ·自由杆冲击测试器件灵敏度原理 | 第53-55页 |
| ·自由杆加速度冲击实验结果 | 第55-56页 |
| 第五章 总结与展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 个人简历及成果清单 | 第62页 |
