| 第一章 综述 等离子体诊断学的发展历程 | 第1-21页 |
| §1．1 等离子体的基本特征 | 第12-13页 |
| §1．2 等离子体诊断方法的分类 | 第13页 |
| §1．3 等离子体静电探针方法的演变历程和适用范围 | 第13-16页 |
| §1．4 等离子体光谱学的发展 | 第16-18页 |
| §1．5 等离子体相关学科的发展提出了新的诊断领域 | 第18页 |
| §1．6 本文的研究内容和目标 | 第18-21页 |
| 第二章 双原子分子光谱的两个理论问题 | 第21-46页 |
| §2．1 双原子分子的结构和光谱特点 | 第21-30页 |
| §2．1．1 双原子分子的能级结构 | 第22-24页 |
| §2．1．2 双原子分子能级的对称性 | 第24-26页 |
| §2．1．3 分子光谱跃迁的选择定则和跃迁强度 | 第26-30页 |
| §2．2 关于双原子分子角动量耦合作用理论的一个修正 | 第30-34页 |
| §2．3 线型分子的电子能级∧分裂的新解释 | 第34-44页 |
| §2．3．1 线型分子电子能级∧分裂现象 | 第35-37页 |
| §2．3．2 ∧分裂现象的物理图景分析 | 第37页 |
| §2．3．3 用欧拉方程描述线型分子的转动力学 | 第37-39页 |
| §2．3．4 线型分子转动的拉格朗日方程 | 第39-40页 |
| §2．3．5 线型分子转动的哈密顿方程 | 第40-42页 |
| §2．3．6 ∧分裂哈密顿算符的矩阵元 | 第42-44页 |
| 本章小结 | 第44-46页 |
| 第三章 等离子体空间分辨发射光谱分析原理 | 第46-61页 |
| §3．1 双原子分子光谱线的频率 | 第46-49页 |
| §3．2 双原子分子转动光谱的强度分布原理 | 第49-51页 |
| §3．3 线性双原子分子转动光谱强度的拟合和模拟 | 第51-54页 |
| §3．4 等离子体发射光谱的自吸收现象和空间分辨 | 第54-55页 |
| §3．5 光学薄等离子体体系的空间分辨发射光谱的测量方法 | 第55-58页 |
| §3．5．1 Abel变换原理 | 第55-56页 |
| §3．5．2 利用光纤和透镜直接获得空间分布光谱 | 第56-58页 |
| §3．6 分子转动温度的一般拟合方法 | 第58-60页 |
| 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 发射光谱法研究低温等离子体的转动温度 | 第61-79页 |
| §4．1 氮气直流辉光放电等离子体的转动温度 | 第61-71页 |
| §4．1．1 实验装置与过程 | 第62页 |
| §4．1．2 氮气第一负带（0-0）带光谱拟合 | 第62-64页 |
| §4．1．3 实验结果及讨论 | 第64-70页 |
| §4．1．4 第二正带的转动分辨光谱 | 第70-71页 |
| §4．2 磁控溅射沉积CNx膜过程CN产物的发射光谱诊断 | 第71-77页 |
| §4．2．1 CN自由基的发射光谱 | 第71-73页 |
| §4．2．2 CN基团的形成机理分析 | 第73-75页 |
| §4．2．3 NH_3直流辉光放电形成的CN基团的发射光谱 | 第75-77页 |
| §4．3 甲烷交流电晕放电体系的CH基团转动分辨光谱 | 第77-78页 |
| 本章小结 | 第78-79页 |
| 第五章 氩气低温等离子体的发射光谱研究 | 第79-95页 |
| §5．1 氩气直流辉光放电体系的光发射特征 | 第80-85页 |
| §5．1．1 实验装置和测量 | 第80-81页 |
| §5．1．2 实验结果与结论分析 | 第81-85页 |
| §5．2 氩气的ICP放电和DBD放电发射光谱的特征 | 第85-94页 |
| §5．2．1 实验装置和条件 | 第85-87页 |
| §5．2．2 实验结果和结论分析 | 第87-91页 |
| §5．2．3 射频放电氩等离子体光辐射的碰撞辐射模型 | 第91-94页 |
| 本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 几种新的静电探针模型 | 第95-112页 |
| §6．1 冷等离子体中的静电探针理论 | 第95-98页 |
| §6．2 用于高气压低温等离子体的静电探针电容模型 | 第98-102页 |
| §6．3 鞘层的管道模型------磁场对探针特性的影响 | 第102-104页 |
| §6．4 一种原理性负离子探针设计 | 第104-111页 |
| 本章小结 | 第111-112页 |
| 第七章 总结 | 第112-114页 |
| 附录 | 第114-132页 |
| 后记 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133-135页 |
| Publications | 第135-136页 |
