| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| ·概述 | 第11-12页 |
| ·TI-AL系金属间化合物薄膜的发展及研究 | 第12-15页 |
| ·Ti-Al系金属间化合物薄膜在国外的发展 | 第13页 |
| ·Ti-Al系金属间化合物薄膜在国内的发展 | 第13-15页 |
| ·课题研究的目的和意义 | 第15-17页 |
| 第二章 主要试验设备简介 | 第17-25页 |
| ·射频磁控反应溅射镀膜的基本原理 | 第17-20页 |
| ·射频溅射 | 第18-19页 |
| ·磁控溅射 | 第19-20页 |
| ·反应溅射 | 第20页 |
| ·试验装置 | 第20-25页 |
| ·射频磁控溅射设备 | 第20-23页 |
| ·形貌分析设备 | 第23页 |
| ·物相结构分析设备 | 第23-24页 |
| ·摩擦实验设备 | 第24-25页 |
| 第三章 TI-AL金属间化合物薄膜的制备及摩擦性能分析 | 第25-41页 |
| ·TI-AL金属间化合物薄膜的制备流程 | 第25-30页 |
| ·TI-AL系金属间化合物薄膜的物相分析 | 第30-32页 |
| ·TI-AL金属间化合物薄膜的形貌分析 | 第32-33页 |
| ·TI-AL金属间化合物薄膜的摩擦性能 | 第33-39页 |
| ·Ti-Al金属间化合物薄膜的摩擦系数 | 第34-37页 |
| ·Ti-Al金属间化合物薄膜的磨痕形貌 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 氮化钛铝薄膜的制备和摩擦性能研究 | 第41-56页 |
| ·氮化钛铝薄膜制备 | 第41-42页 |
| ·氮化钛铝薄膜物相分析 | 第42-48页 |
| ·氮气流量变化对薄膜物相的影响 | 第44-46页 |
| ·热处理温度对薄膜物相的影响 | 第46-48页 |
| ·氮化钛铝金属间化合物薄膜的形貌分析 | 第48-52页 |
| ·氮气流量对氮化钛铝化合物薄膜表面形貌的影响 | 第48-51页 |
| ·热处理温度对氮化钛铝化合物薄膜表面形貌的影响 | 第51-52页 |
| ·氮化钛铝薄膜的摩擦学性能分析结果 | 第52-55页 |
| ·氮化钛铝化合物薄膜的摩擦系数测试结果与讨论 | 第53页 |
| ·氮化钛铝化合物薄膜的磨痕形貌的分析 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 总结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 研究生期间发表的论文 | 第63页 |