| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 引言 | 第8-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 低气压放电等离子体源概述 | 第9-10页 |
| 1.1.1 气体等离子体放电概述 | 第9页 |
| 1.1.2 金属电弧概述 | 第9-10页 |
| 1.2 离子引出实验发展概述 | 第10-11页 |
| 1.3 IEX-2015系统和金属等离子体源实验平台概述 | 第11-13页 |
| 1.3.1 IEX-2015系统概述 | 第11-12页 |
| 1.3.2 金属等离子体源基础实验系统概述 | 第12-13页 |
| 1.4 金属等离子体源研究进展 | 第13-18页 |
| 1.5 低气压下等离子体诊断测量方法概述 | 第18-22页 |
| 1.5.1 静电探针法 | 第18-21页 |
| 1.5.2 发射光谱法 | 第21-22页 |
| 1.6 本文研究内容和重点 | 第22-23页 |
| 第2章 低气压等离子体源发生器的研制 | 第23-29页 |
| 2.1 金属电弧源发生器I的研制 | 第23-24页 |
| 2.2 金属电弧源发生器II的研制 | 第24-26页 |
| 2.3 金属电弧源发生器III的研制 | 第26-27页 |
| 2.4 气体放电源发生器的优化改进 | 第27-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 低气压金属电弧源的性能实验研究 | 第29-51页 |
| 3.1 金属电弧放电电源 | 第29-33页 |
| 3.1.1 WS-315C氩弧焊机 | 第29-30页 |
| 3.1.2 Topcon电源系统 | 第30-33页 |
| 3.2 基于金属电弧源发生器I的实验研究 | 第33-43页 |
| 3.2.1 壁面放电和尖端漏电现象及其解决方法 | 第33-35页 |
| 3.2.2 阳极耗材结构对放电实验的影响 | 第35-37页 |
| 3.2.3 放电电流对金属放电实验的影响 | 第37页 |
| 3.2.4 有无冷却水对金属放电实验的影响 | 第37-38页 |
| 3.2.5 阴极烧蚀实验研究 | 第38-39页 |
| 3.2.6 发射光谱法测量金属放电等离子体的实验研究 | 第39-43页 |
| 3.3 基于金属电弧源发生器II的实验研究 | 第43-47页 |
| 3.3.1 阳极耗材钼的放电实验 | 第44-45页 |
| 3.3.2 阳极耗材铜的放电实验 | 第45-47页 |
| 3.4 基于金属电弧源发生器III的实验研究 | 第47-50页 |
| 3.4.1 电感值大小对金属电弧放电影响的实验研究 | 第48-49页 |
| 3.4.2 电压电流大小对金属电弧放电影响的实验研究 | 第49页 |
| 3.4.3 真空度对金属电弧放电影响的实验研究 | 第49-50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 气体放电射流源射频共振法离子引出的实验研究 | 第51-58页 |
| 4.1 离子引出射频共振法概述[12] | 第51-55页 |
| 4.1.1 离子引出射频共振法实验共振频率的理论计算 | 第51-53页 |
| 4.1.2 磁场、极板大小比对共振频率的影响[44] | 第53-54页 |
| 4.1.3 极板电压与射频电流的相位差和磁场强度的关系 | 第54-55页 |
| 4.2 平行极板射频场离子引出实验 | 第55-57页 |
| 4.2.1 射频实验测量系统 | 第55页 |
| 4.2.2 极板电压与射频电流及其相位差和磁场强度的实验 | 第55-57页 |
| 4.3 本章小结 | 第57-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 导师简介 | 第63-64页 |
| 作者简介 | 第64-65页 |
| 学位论文数据集 | 第65页 |
