金属狭缝中连接声表面波器件的平面传输线研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 金属狭缝中接触应力监测问题 | 第11-13页 |
| 1.2 平面传输线与其分析方法的发展现状 | 第13-16页 |
| 1.3 微电子器件封装互连技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.4 论文的研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 SAW器件与传输线的互连技术 | 第19-31页 |
| 2.1 SAW器件与传输线的互连技术 | 第19-21页 |
| 2.1.1 引线键合(WB)技术 | 第19-20页 |
| 2.1.2 倒装芯片键合(FCB)技术 | 第20-21页 |
| 2.1.3 载带自动键合(TAB)技术 | 第21页 |
| 2.2 引线键合连接的仿真与优化 | 第21-26页 |
| 2.2.1 键合线拱高对传输的影响 | 第22-23页 |
| 2.2.2 键合线跨距对传输的影响 | 第23-24页 |
| 2.2.3 键合线直径对传输的影响 | 第24-25页 |
| 2.2.4 键合线根数对传输的影响 | 第25-26页 |
| 2.3 键合连接等效电路模型的提取 | 第26-29页 |
| 2.3.1 键合连接的等效电路 | 第26-27页 |
| 2.3.2 ADS提取等效电路模型 | 第27-29页 |
| 2.4 引线键合加工工艺 | 第29-30页 |
| 2.5 SAW器件与传输线的互连方案 | 第30页 |
| 2.6 本章小结 | 第30-31页 |
| 第三章 金属狭缝对微带线传输性能影响 | 第31-46页 |
| 3.1 微带传输线 | 第31-35页 |
| 3.1.1 微带线的特性阻抗 | 第32-33页 |
| 3.1.2 微带线的衰减 | 第33-34页 |
| 3.1.3 微带线的色散与高次模 | 第34-35页 |
| 3.2 金属狭缝中微带线的分析方法 | 第35-37页 |
| 3.2.1 屏蔽微带线常用的分析方法 | 第35-36页 |
| 3.2.2 屏蔽微带线近似分析方法 | 第36-37页 |
| 3.3 金属狭缝中微带线的计算 | 第37-42页 |
| 3.3.1 微带线基底厚度的选取 | 第39-40页 |
| 3.3.2 等效相对介电常数随狭缝宽度的变化 | 第40-41页 |
| 3.3.3 特性阻抗随狭缝宽度的变化 | 第41-42页 |
| 3.4 金属狭缝中微带线的仿真 | 第42-44页 |
| 3.4.1 狭缝中微带线模型的设置 | 第42-43页 |
| 3.4.2 金属狭缝对微带线传输性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.5 金属狭缝对微带线电长度的影响 | 第44-45页 |
| 3.6 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 传输线的匹配网络设计与结构优化 | 第46-70页 |
| 4.1 阻抗匹配基本理论 | 第46-47页 |
| 4.2 常用的微带线阻抗匹配方法 | 第47-51页 |
| 4.2.1 微带四分之一波长阻抗变换器 | 第48-50页 |
| 4.2.2 微带单支节匹配器 | 第50页 |
| 4.2.3 微带双枝节匹配器 | 第50-51页 |
| 4.3 微带线双枝节匹配网络的设计 | 第51-58页 |
| 4.3.1 史密斯圆图 | 第51-54页 |
| 4.3.2 Smith圆图中双枝节匹配的过程 | 第54-56页 |
| 4.3.3 ADS设计双枝节匹配电路 | 第56-58页 |
| 4.4 微带匹配电路的结构优化 | 第58-65页 |
| 4.4.1 微带线的转弯 | 第59-61页 |
| 4.4.2 平行耦合微带线 | 第61-63页 |
| 4.4.3 T型结的不连续性补偿 | 第63-65页 |
| 4.5 微带线接地与焊盘的设计 | 第65-69页 |
| 4.5.1 微带线的接地 | 第65-66页 |
| 4.5.2 接地孔与焊盘的优化 | 第66-67页 |
| 4.5.3 微带线连接的仿真 | 第67-69页 |
| 4.6 微带匹配电路的总体设计 | 第69页 |
| 4.7 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 声表面波器件与微带线匹配电路的测试 | 第70-81页 |
| 5.1 实验准备 | 第70-74页 |
| 5.1.1 矢量网络分析仪的介绍 | 第70-71页 |
| 5.1.2 微带线匹配电路的加工 | 第71-72页 |
| 5.1.3 SAW器件的连接与封装 | 第72-73页 |
| 5.1.4 微带线与同轴线转换接头制作 | 第73-74页 |
| 5.1.5 加载台结构 | 第74页 |
| 5.2 SAW器件与匹配电路的静态测试 | 第74-78页 |
| 5.2.1 SAW器件的观察与选择 | 第75-76页 |
| 5.2.2 SAW裸芯片的测试 | 第76-77页 |
| 5.2.3 连接传输线后SAW器件谐振频率测试 | 第77-78页 |
| 5.3 连接传输线后SAW器件的应力加载测试 | 第78-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结与展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第88-89页 |
