基于电流型读出的热释电单元与线列器件研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 红外探测器与热释电材料 | 第11-17页 |
| 1.2.1 红外探测器的分类 | 第11-12页 |
| 1.2.2 热释电红外探测器的工作原理 | 第12-13页 |
| 1.2.3 热释电红外探测器利用的效应 | 第13-15页 |
| 1.2.4 热释电材料的分类 | 第15-17页 |
| 1.3 热释电红外探测器国内外研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4 热释电红外探测器领域存在的不足 | 第18-19页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第19-20页 |
| 第二章 热释电探测器的性能参数 | 第20-24页 |
| 2.1 响应率 | 第20页 |
| 2.2 噪声 | 第20-21页 |
| 2.3 噪声等效功率与比探测率 | 第21-22页 |
| 2.4 噪声等效温差 | 第22页 |
| 2.5 响应时间常数 | 第22-24页 |
| 第三章 电流型单元探测器制备研究 | 第24-48页 |
| 3.1 油墨红外吸收层的图形化 | 第24-27页 |
| 3.1.1 光刻工艺研究 | 第24-25页 |
| 3.1.2 油墨红外吸收层的表征 | 第25-27页 |
| 3.2 钽酸锂材料激光切割工艺的研究 | 第27-30页 |
| 3.2.1 激光切割参数研究 | 第28-29页 |
| 3.2.2 2.5 寸LiTaO3单晶的切割 | 第29-30页 |
| 3.3 器件制备 | 第30-35页 |
| 3.3.1 电流型探测器的电路原理 | 第31页 |
| 3.3.2 探测器的PCB板设计 | 第31-32页 |
| 3.3.3 电路元件的选择及参数 | 第32页 |
| 3.3.4 器件制备流程 | 第32-35页 |
| 3.4 探测器的表征 | 第35-47页 |
| 3.4.1 测试条件 | 第35-36页 |
| 3.4.2 不同电路参数的器件的测试 | 第36-37页 |
| 3.4.3 器件的测试结果 | 第37-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电流读出型线列器件制备 | 第48-63页 |
| 4.1 线列敏感元的图形化 | 第48-50页 |
| 4.2 线列敏感元的激光切割 | 第50-53页 |
| 4.3 线列器件的性能测试 | 第53-62页 |
| 4.3.1 器件的制备 | 第53-54页 |
| 4.3.2 线列器件测试结果 | 第54-57页 |
| 4.3.3 各敏感元的测试结果 | 第57-62页 |
| 4.4 本章小节 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 全文总结 | 第63-64页 |
| 5.2 后续工作展望 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第70页 |
