| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第11-23页 |
| 1.1 课题背景及研究意义 | 第11-14页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第11-13页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 研究现状及其发展趋势 | 第14-21页 |
| 1.2.1 压电陶瓷驱动微位移平台 | 第14-17页 |
| 1.2.2 光学测量角度系统 | 第17-21页 |
| 1.3 主要内容及章节安排 | 第21-22页 |
| 1.4 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 压电式驱动回转平台的总体设计及角度测量原理 | 第23-35页 |
| 2.1 压电元件 | 第23-25页 |
| 2.1.1 压电元件的种类和特征 | 第23页 |
| 2.1.2 叠堆型压电元件 | 第23-25页 |
| 2.2 用叠堆型压电元件所产生的驱动方式 | 第25-29页 |
| 2.2.1 步进式直线驱动 | 第25-26页 |
| 2.2.2 惯性冲击式驱动 | 第26-28页 |
| 2.2.3 粘滑式驱动 | 第28-29页 |
| 2.3 回转平台的构造及回转原理 | 第29-31页 |
| 2.4 用四分割光电二极管的微角度测量方法 | 第31-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 压电式驱动回转平台的构造 | 第35-48页 |
| 3.1 直立半球回转平台 | 第35-38页 |
| 3.1.1 平台倾斜的驱动设计 | 第35-36页 |
| 3.1.2 平台旋转的驱动设计 | 第36-38页 |
| 3.2 斜立半球回转平台 | 第38-42页 |
| 3.2.1 驱动设计 | 第38-39页 |
| 3.2.2 驱动单元的设计 | 第39-40页 |
| 3.2.3 回转平台的中空设计 | 第40-41页 |
| 3.2.4 斜立半球回转平台的构造 | 第41-42页 |
| 3.3 支持球在任意方向驱动的动作解析 | 第42-47页 |
| 3.3.1 极坐标系下支持球的驱动方向的计算 | 第42-45页 |
| 3.3.2 XYZ坐标系下支持球的驱动方向的计算 | 第45-47页 |
| 3.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 回转平台的角度测量系统 | 第48-64页 |
| 4.1 用四分割光电二极管测量微角度的原理及特性 | 第48-50页 |
| 4.2 系统构成的主要元器件选择分析 | 第50-54页 |
| 4.2.1 光源-高亮度Al Ga In P红光发光二极管 | 第50-52页 |
| 4.2.2 四分割光电二极管 | 第52-54页 |
| 4.3 信号放大电路的设计 | 第54-58页 |
| 4.3.1 设计思路 | 第54-56页 |
| 4.3.2 运算放大芯片的选择 | 第56-58页 |
| 4.4 数据采集 | 第58-59页 |
| 4.5 软件设计 | 第59-63页 |
| 4.5.1 Lab VIEW平台简介 | 第59-60页 |
| 4.5.2 基于Lab VIEW的测量系统软件实现 | 第60-63页 |
| 4.6 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 系统的实验研究与结果分析 | 第64-87页 |
| 5.1 支持球动作解析测试 | 第64-74页 |
| 5.1.1 用Solid Works对支持球变位量进行有限元分析 | 第64-66页 |
| 5.1.2 支持球驱动方向的测定 | 第66-68页 |
| 5.1.3 外加电压补偿情况下支持球驱动方向的测定 | 第68-74页 |
| 5.2 任意回转轴下平台动作解析测试 | 第74-80页 |
| 5.2.1 倾斜动作 | 第74-79页 |
| 5.2.2 旋转动作 | 第79-80页 |
| 5.3 角度测量系统线性度的测试 | 第80-84页 |
| 5.3.1 四分割光电二极管测光斑的变位量 | 第80-82页 |
| 5.3.2 回转平台的倾斜角度测量 | 第82-84页 |
| 5.4 回转平台的系统性能测定 | 第84-86页 |
| 5.4.1 回转轴为垂直方向的动作测定 | 第84-85页 |
| 5.4.2 反馈控制下的动作测定 | 第85-86页 |
| 5.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 第六章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 6.1 总结 | 第87-88页 |
| 6.2 展望 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-92页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第92-93页 |
