| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 1 文献综述 | 第9-35页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 传感器简介 | 第9-12页 |
| 1.2.1 金属氧化物半导体气敏材料的介绍 | 第9-10页 |
| 1.2.2 半导体气体传感器的应用领域 | 第10-12页 |
| 1.3 金属氧化物半导体的气敏机理 | 第12-15页 |
| 1.3.1 吸附氧理论 | 第12-13页 |
| 1.3.2 肖特基接触势垒 | 第13页 |
| 1.3.3 氧空位的作用 | 第13页 |
| 1.3.4 施主和受主缺陷的浓度控制气敏性能 | 第13-15页 |
| 1.4 半导体气体传感器存在的问题 | 第15页 |
| 1.5 提升CuO材料气敏性能的方法 | 第15-25页 |
| 1.5.1 减小材料的尺寸提升CuO材料气敏性能 | 第16-17页 |
| 1.5.2 控制特殊形貌来提升CuO气敏性能 | 第17-21页 |
| 1.5.3 使用添加剂提升CuO气敏性能 | 第21-25页 |
| 1.6 提升ZnO材料气敏性能的方法 | 第25-33页 |
| 1.6.1 减小材料的尺寸提升ZnO材料气敏性能 | 第25页 |
| 1.6.2 控制特殊形貌来提升ZnO气敏性能 | 第25-28页 |
| 1.6.3 暴露高活性面提升ZnO气敏性能 | 第28-30页 |
| 1.6.4 使用添加剂提升ZnO气敏性能 | 第30-33页 |
| 1.7 本论文的研究意义与内容 | 第33-35页 |
| 2 实验部分 | 第35-40页 |
| 2.1 实验药品及设备 | 第35页 |
| 2.2 气敏材料的制备工艺流程 | 第35-37页 |
| 2.2.1 介孔-大孔CuO微球的制备工艺流程 | 第35-36页 |
| 2.2.2 Co掺杂和Fe掺杂介孔ZnO微球的制备工艺流程 | 第36-37页 |
| 2.3 气敏元件的制备工艺 | 第37-38页 |
| 2.4 气敏元件的性能参数 | 第38页 |
| 2.5 样品表征 | 第38-40页 |
| 3 介孔-大孔CuO微球的溶剂热法制备及气敏性能研究 | 第40-52页 |
| 3.1 引言 | 第40页 |
| 3.2 不同溶剂制备的介孔-大孔CuO微球的表征及气敏性能研究 | 第40-47页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 形貌分析 | 第42-43页 |
| 3.2.3 比表面和孔结构分析 | 第43-45页 |
| 3.2.4 不同溶剂制备的CuO元件对乙醇的气敏性能研究 | 第45-47页 |
| 3.3 不同焙烧条件制备的介孔-大孔CuO微球的表征及气敏性能研究 | 第47-51页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第47-48页 |
| 3.3.2 形貌分析 | 第48-49页 |
| 3.3.3 比表面和孔结构分析 | 第49页 |
| 3.3.4 不同焙烧条件制备的CuO元件对乙醇的气敏性能研究 | 第49-51页 |
| 3.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 Co、Fe掺杂介孔ZnO微球的水热法制备及气敏性能研究 | 第52-71页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 Co掺杂介孔ZnO微球的表征及对乙醇的气敏性能研究 | 第52-62页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第52-53页 |
| 4.2.2 形貌分析 | 第53-54页 |
| 4.2.3 UV-vis吸收光谱分析 | 第54-55页 |
| 4.2.4 PL光谱分析 | 第55-56页 |
| 4.2.5 比表面和孔结构分析 | 第56页 |
| 4.2.6 XPS分析 | 第56-57页 |
| 4.2.7 不同Co掺杂量的ZnO元件对乙醇的气敏性能研究 | 第57-62页 |
| 4.3 Fe掺杂介孔ZnO微球的表征及对正丁醇的气敏性能研究 | 第62-69页 |
| 4.3.1 XRD分析 | 第62页 |
| 4.3.2 形貌分析 | 第62-63页 |
| 4.3.3 PL光谱分析 | 第63-64页 |
| 4.3.4 比表面和孔结构分析 | 第64-65页 |
| 4.3.5 不同Fe掺杂量的ZnO元件对正丁醇的气敏性能研究 | 第65-69页 |
| 4.4 本章小结 | 第69-71页 |
| 5 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-83页 |
| 附录 | 第83-84页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
